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SJ6000激光干涉儀

參考價 280000
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SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。

詳細信息 在線詢價

中圖儀器SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。

SJ6000激光干涉儀

SJ6000激光干涉儀結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。


產品配置

激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

SJ6000激光干涉儀

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

SJ6000激光干涉儀


產品功能

激光干涉儀適用于各種復雜的運動系統,不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。

(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環境補償。


測量軟件

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應用功能模塊;

(3)向導式的操作流程;

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業專屬模板定制。


部分應用案例

SJ6000激光干涉儀


部分技術指標

主機

穩頻精度:0.05ppm

動態采集頻率:50 kHz

預熱時間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲溫度范圍:(-20~70)℃

環境濕度:(0~95)%RH


環境補償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa


線性測量距離:(0~80)m (無需遠距離線性附件)

角度測量范圍:±10°

平面度測量范圍:±1.5mm

直線度測量范圍:±3mm

垂直度測量范圍:±3/M mm/m


便攜箱尺寸:613*460*230mm

標準配置重量:18kg

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。



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