粗糙度輪廓一體機Infex6362N-sdn特點:2一次測量實現粗糙度、波紋度、輪廓分析2實現全范圍內的粗糙度、波紋度測量測量原理本儀器測量原理為直角坐標測量法
粗糙度輪廓一體機 Infex6362N-sdn
特點:
2 一次測量實現粗糙度、波紋度、輪廓分析
2 實現全范圍內的粗糙度、波紋度測量
Ø 測量原理
本儀器測量原理為直角坐標測量法,即通過X軸、Z1軸傳感器,測繪出被測零件的表面輪廓的坐標點,通過電器組件,將傳感器所測量的坐標點數據傳輸到上位PC機,軟件對所采集的原始坐標數據進行數學運算處理,標注所需的工程測量項目。
Ø 測量功能
輪廓測量功能:
尺寸:包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
夾角:包含水平角、垂直角、夾角
位置公差:包含平行度、垂直度
形狀公差:包含直線度、凸度、圓弧
輪廓度輔助生成:包含輔助點、輔助線、輔助圓
糙度測量功能:
R參數:Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr
W 參數:Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、
Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr
P參數:Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、
Motif參數:Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、Saw
截止波長(λc):0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
評定長度:λcX2,3,4,5,6,7,X軸有效范圍內
濾波器:高斯濾波器,圓弧濾波器,非線性濾波器,2RC濾波器
Ø 測量范圍
項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
傳感器 | ±7.5mm | 0.02μm |
驅動器 | 100mm | 0.2μm |
立柱 | 320mm | - |
Ø 技術規格
技術參數 | 指示精度1 | ≤±(0.8+2L/100)μm |
直線度2 | ≤0.3μm/100mm | |
Z軸線性精度3 | ≤±(0.8+|0.12H|)μm | |
粗糙度指示精度 | ≤±(8nm+3.5%) | |
重復性4 | 1δ≤2nm | |
殘值噪聲5 | ≤12nm | |
圓弧6 | ≤(1.2+R/12)μm | |
圓弧Pt6 | ≤±0.3μm | |
角度7 | ≤±1′ | |
運動控制 | X軸驅動方式 | 電動 |
Z軸驅動方式 | 電動 | |
X軸驅動速度 | 0.05~15mm/s | |
Z軸驅動速度 | 0.2-15mm/s |
注:1、L為測量長度,精度檢驗方法:激光干涉儀;2、λc為2.5mm,測量速度≤0.3mm/s,測量平晶;3、H為的測量高度;4、采用Ra為0.35-0.5μm的方波標準件;5、λc為0.08mm,測量速度為0.1mm/s,測量平晶;6、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°;7、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為5mm;8、以上參數均在20℃±2℃,階梯溫度不超過2℃/h和地面振動RMS<50Hz 2.5μm/s 且 RMS>50Hz 5.0μm/s的環境下測得。
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