測量原理本儀器測量原理為直角坐標測量法,即通過X軸、Z1軸傳感器,測繪出被測零件的表面輪廓的坐標點,通過電器組件,將傳感器所測量的坐標點數據傳輸到上位PC機,軟件對所采集的原始坐標數據進行數學運算處理,標注所需的工程測量項目
Ø 測量原理
本儀器測量原理為直角坐標測量法,即通過X軸、Z1軸傳感器,測繪出被測零件的表面輪廓的坐標點,通過電器組件,將傳感器所測量的坐標點數據傳輸到上位PC機,軟件對所采集的原始坐標數據進行數學運算處理,標注所需的工程測量項目。
Ø 測量功能
輪廓測量功能
尺寸:包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
夾角:包含水平角、垂直角、夾角
位置公差:包含平行度、垂直度
形狀公差:包含直線度、凸度、圓弧輪廓度
輔助生成:包含輔助點、輔助線、輔助圓
粗糙度測量功能
粗糙度功能:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
Ø 測量范圍
項目 | 測量范圍 | 分辨率 |
驅動器 | 100mm | 0.2μm |
輪廓傳感器 | 10mm | 0.05μm |
粗糙度傳感器 | ±420μm | 65536:1 |
立柱 | 320mm | - |
技術規格
輪廓儀部分技術參數 | 線性精度1 | ±(1.5+|0.2H|)μm |
圓弧2 | ±(2+R/8)μm | |
角度3 | ±2′ | |
直線度4 | 0.8μm/100mm | |
粗糙度部分技術參數 | 線性精度 | ±(7nm+3.5%) |
殘值噪聲 | ≤0.025μm | |
重復性 | 1δ≤2nm | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
評定長度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
運動控制 | X軸驅動方式 | 電動 |
Z軸驅動方式 | 電動 | |
X軸驅動速度 | 0.1~10mm/s | |
Z軸驅動速度 | 0.5-10mm/s |
注:1、H為水平位置上的測量高度;2、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°;3、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為5mm;4、λc為2.5mm,測量速度為≤0.3mm/s;5、2mm<R<10mm的標準球,取樣圓弧夾角為120°6、以上參數均在20℃±5℃,階梯溫度不超過2℃/h的環境下測得;7、地面震動RMS
<50HZ 2.5μm/s />50HZ 5.0μm/s。
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