規格

參數

CNC-2515

CNC-3020

CNC-4030

CNC-5040

工

作

臺

(mm)

X/Y軸行程

250*150

300*200

400*300

500*400

Z軸行程

有效空間245mm,調焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺面尺寸

450*320

450*350

550*450

700*600

玻璃臺面尺寸

300*200

330*230

430*330

530*430

傳動型式

傳動型：進口X/Y/Z軸精密線性導軌和進口研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅動系統

光學尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005mm（0.5um）

測量精度：≤3um+l/200 重復精度：≤3um+l/200

X/Y/Z三軸高性能伺服電機，雙重閉環控制系統

探針組（選配）

英國雷尼紹Renishaw探針組 （選配探針組_）

影像系統

攝像機：日本彩色1/3′ CCD 攝像機放大倍率30-230x

鏡頭：NAV高清連續變倍鏡頭/連續放大倍率0.7-4.5x

可選配：0.5x物鏡時，總放大倍率15-115x

可選配：2x物鏡時，總放大倍率60-460x

光源系統

程控八區光源，表面光源與透射光源均為LED冷光源、壽命長、軟件自動調節

儀器外形尺寸（L*W*H mm）

650*850*1650

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

儀器重量（kg）

250

330

500

720