| 評定參數 | |
| 評定參數 | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
| 測量范圍 | |
| Z軸 | 800μm |
| X軸 | 50mm |
| 直線度精度 | |
| 直線度精度 | 0.4μm |
| 分辨率（Z軸） | |
| 分辨率（Z軸） | 0.001μm |
| 采樣數/分解能 | |
| 采樣數/分解能 | 9600點/16bit |
| 濾波器 | |
| 濾波器 | 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器 |
| 取樣長度 | |
| 取樣長度 | λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
| 截止波長 | |
| 截止波長 | 0.25,0.8,2.5 |
| 測量速度 | |
| 測量速度 | 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
| 返回速度 | |
| 返回速度 | （自動） 1mm/s |
| 示值誤差 | |
| 示值誤差 | ±5% |
| 示值穩定性 | |
| 示值穩定性 | 3% |
| 測量重復性 | |
| 測量重復性 | 3% |
| 圖形放大倍率 | |
| 圖形放大倍率 | 10-500000自動調整 |
| 傳感器 | |
| 傳感器 | 針尖 R=2μm鉆石（測量力1mN） |
| R=5μm鉆石(測量力4mN） | |
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