X射線熒光光譜儀(XRF,是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線。這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析,特別是在金屬,玻璃,陶瓷和建材的調查和研究,地球化學,法醫學,考古學和藝術品,例如油畫和壁畫。
XRF用的是物理原理來檢測物質的元素,可進行定性和定量分析。即通過X射線穿透原子內部電子,由外層電子補給產生特征X射線,根據元素特征X射線的強度,即可獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。它只能測元素而不能測化合物。但由于XRF是表面化學分析,故測得的樣品必須滿足很多條件才準,比如表面光滑,成分均勻。如果成分不均勻,只能說明在XRF測量的那個微區的成分如此,其他的不能表示。
XRF的優點如下:
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關,但一般都很短,2-5分鐘就可以測完樣品中的全部元素。
2、非破壞性。在測定中不會引起化學狀態的改變,也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量,結果重現性好。
3、分析精密度高。
4、制樣簡單,固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
5、測試元素范圍大,WDX可在ppm-100%濃度下檢測B5-U92,而EDX可在1ppm-100ppm下檢測大多數元素,Na11-U92。此外還可以檢測Cu合金中的Be含量。
6、可定量分析材料元素組成,分辨率高,探針尺寸為500μm (WDX), 75μm (EDX)。
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