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X射線光電子能譜儀的優缺點
X射線光電子能譜儀(XPS)是一種*的表面分析技術，它利用X射線激發樣品表面元素的內層能級電子信號，再用電子能譜儀檢測光電子的動能及強度，進而確定元素的種類及價態等信息，主要用于研究材料極表面的元素及元素不同價態組成。本文將介紹XPS的優缺點。
XPS的優點
1、能快速、同時對除H和He以外的所有元素進行元素定性、定量分析，幾分鐘內就可完成；可以直接測定來自樣品單個能級光電發射電子的能量分布，且直接得到電子能級結構的信息。
2、對試樣與探測器的幾何位置要求低：對W.D的要求不是很嚴格；可以在低倍率下獲得X射線掃描、面分布結果。
3、能譜所需探針電流小，是一種無損分析。對電子束照射后易損傷的試樣，例如生物試樣、快離子試樣、玻璃等損傷小。
4、是一種高靈敏超微量表面分析技術。分析所需試樣約8-10g即可，靈敏度高達10-18g，樣品分析深度約2nm。
XPS的缺點
1、分辨率低，比X射線波長色散譜儀的分辨率(~10電子伏)要低十幾倍；
2、峰背比低(約為100)，比X射線波長色散譜儀的要低10倍，定量分析尚存在一些困難；
3、Si(Li)探測器必須在液氮溫度下保存和使用，因此要保證液氮的連線供應；
4、不能分析Z小于11的元素，分辨率、探測極限以及分析精度都不如波譜儀。因此，它常常跟波譜儀配合使用。
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