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 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 超高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開啟前壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度（不含電磁閥）:

 - 彈性體密封閥蓋

 150°C

 - 金屬密封閥蓋

-開啟溫度：200°C

-關閉值：150°C

 - 驅動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

機制

手動：

手搖曲柄

電磁閥供電電壓

 120 VAC 50 /60 Hz

電磁閥可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 電磁閥位置指示器

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

氣動送風：

80 psig

 使用壽命: 100,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 16 - 800 mm