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HVA 真空閥門 11000 用在 OLED 鍍膜機

來源：伯東企業（上海）有限公司 2023年06月06日 14:23

國內某 OLED 鍍膜機廠家配置伯東美國 HVA 真空閥門 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門口徑為主的標準不銹鋼氣動高真空閘閥,

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標準技術規格:

下圖是某 OLED 鍍膜機廠家配置上海伯東美國 HVA 高真空閥門

超高真空閘閥

OLED 鍍膜機主要面向有機半導體照明客戶, 需要鍍膜機性能更穩定, 器件效率更高, 性價比高,

對于生產 OLED 鍍膜機的客戶, 為了節省抽空時間和防止基片的污染, 會選擇在 LOADLOCK 與主腔間進行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會在腔室之間增加高真空閥門來隔離系統.

伯東美國 HVA 真空閥門已廣泛應用于 OLED 鍍膜機

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上海伯東 : 羅先生

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