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影響三坐標測量機測量精度的因素有很多，例如：機器的精度、所用測量頭的類型（接觸式或掃描式）或最佳接觸方式，但其中測量針（通常是規格和配置）針）也有助于測量的準確性

選擇測針影響機器精度的因素主要有4個：

1.測針球球度（圓度）：測量針尖的圓度

大多數測量針尖是球形的，由合成紅寶石制成。測量針尖的圓度影響機器精度的10%。最常見的測量針尖圓度為 5 級和 10 級，圓度為：0.13 µm 和 0.25 µm。

2、測針彎曲：測針的彎曲能力

為了減少這一因素的影響，所有測針在使用前都用校準球進行校準。長測量針和延長尖均由碳纖維制成，以減輕重量和剛度。

3.熱穩定性：溫度穩定性

溫度變化也是測量誤差的一個原因。選擇測量針材料將減少環境條件變化的影響，提高測量精度。

4.測針尖材料選擇：選擇測量針尖的材料

在大多數應用中，測量頭由紅寶石制成

還有一些其他原因，例如：

- 測量針的螺紋尺寸適合所選傳感器

- 測針類型：直型、星型、旋轉型

- 測量針頭類型：球形、盤形、圓柱形或半球形

- 測量頭的尺寸最大限度地減少了粗糙表面對測量精度的影響。