中外合作廠家直營INHA氣體質(zhì)量流量控制器
優(yōu)質(zhì)的國產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器 中韓聯(lián)合打造*，兩國同步上市 兩國同步上市 * 交貨周期短 ，性能比肩進口。定制靈活，應用廣泛 內(nèi)置溫度傳感器，抑制溫漂，提高穩(wěn)定性，年零點漂移小于0.2%/年

該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，價格需電議，*
仁荷微電子科技有限公司主要從事氣體質(zhì)量流量計的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計、加工等相關(guān)的服務。所使用的技術(shù)全由我們*技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，且已取得了多項技術(shù)申請。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和服務支持方案，并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務。

MF-200C主要技術(shù)指標

編號 項目 MF-200C MF-200M

1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程

用途和特點MF產(chǎn)品系列特點：
有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如三氯化硼、*、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品zui小流量范圍可達0~10sccm，zui大流量范圍可達0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~*（量程比為50:1）。
——耐高壓（zui大工作壓力可達100bar）
——響應時間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標準質(zhì)量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優(yōu)惠的價格性價比
——準確率高
——穩(wěn)定的流量控制
——壓力范圍廣

氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

技術(shù)問答：

1.什么情況下用質(zhì)量流量計, 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ? 
一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候, 用質(zhì)量流量計; 當定流測壓時, 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當質(zhì)量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。

2.  質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點是什么？ 
(1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。
(2)  測量控制的自動化
質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。
(3)  精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4)  適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品zui小流量范圍可達0～5 sccm，zui大流量范圍可達0～200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量.