熱式氣體質量流量計/控制器適用于OEM模塊集成的結構極其緊湊的高性能氣體質量流量計和控制器；

從用來測量單一氣體的結構極其緊湊的氣體質量流量計和控制器，到用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列產品都能滿足這些需求。

Axetris熱式氣體質量流量計/控制器：



    Axetris MFM/MFC 2000系列適用于OEM模塊集成的結構極其緊湊的高性能氣體質量流量計和控制器；

    從用來測量單一氣體的結構極其緊湊的氣體質量流量計和控制器，到用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列產品都能滿足這些需求。



技術優點：
 

• 
  基于MEMS技術




• 
  極其緊湊的尺寸




• 
  高精度




• 
  快速響應時間




• 
  多種氣體/多量程




• 
  模塊化




• 
  的*穩定性



 

主要應用：
 

• 
  分析儀器




• 
  氣相色譜儀




• 
  泄漏檢測




• 
  單一或者多種氣體的計量和控制




• 
  標定和質量控制




• 
  薄膜工藝控制