氧濃度20ppm、工作溫度600℃的氣氛爐,適用于無氧環境下的高溫熱處理。
特點:
● 工作溫度360℃和600℃、氧濃度低于20ppm,主要應用于電子元件退火、LTCC去除、玻璃基板退火、陶瓷脫脂等。
● 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2消耗量低。
● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。
● 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作,自動/手動兩種運行模式。
安全性
● 擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置。
規格:
型號 | DNN430C | DNN630C | DNN460C | DNN660C | ||
方式 | 氮氣置換+ 強制送風循環 | |||||
性能 | 使用溫度范圍 | 室溫+50~360℃ | 室溫+50~600℃ | |||
溫度調節精度 | ±0.5℃(at360℃) | ±1.0℃(at600℃) | ||||
溫度分布精度 | ±5.0℃(at360℃) | ±8.0℃(at600℃) | ||||
溫度到達時間 | 約80分鐘 | 約110分鐘 | ||||
氧濃度 | 20ppm 以下 | |||||
氧濃度到達時間 | ≤ 20分(250L/min 氮氣) | ≤ 25分(250L/min 氮氣) | ≤ 20分(250L/min 氮氣) | ≤ 25分(250L/min 氮氣) | ||
構成 | 內裝 | 不銹鋼板 | ||||
外裝 | 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝 | |||||
斷熱材 | 硅酸鋁棉 | |||||
加熱方式 | 不銹鋼加熱管 | 合金加熱絲
| ||||
加熱功率 | 主加熱器 | 6.75KW | 9KW | 9.5KW | 14.2KW | |
N2預熱 | 1KW | |||||
冷卻機構 | 不銹鋼冷卻水換熱器 | |||||
控制器 | 溫度控制方式 | PID控制 | ||||
溫度控制器 | 液晶觸摸屏+PLC | |||||
運行功能 | 手動定值運行、自動程序運行 | |||||
程序模式 | 程序運行9個,每個程序可設置9步(可擴展) | |||||
附加功能 | 操作員等級認證 | |||||
加熱器回路控制 | SSR驅動 | |||||
傳感器 | K型熱電偶(溫度控制及過升防止器) | |||||
安全裝置 | 門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 | |||||
規格 | 內尺寸(寬×深×高mm) | 450×450×450 | 660×500×660 | 450×450×450 | 660×500×660 | |
外形尺寸(寬×深×高mm) | 1090×950×1540 | 1300×1000×1750 | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 | ||
內容積 | 91L | 216L | 91L | 216L | ||
棚板層數/層間距 | 12層/30mm | 19層/30mm | 12層/30mm | 19層/30mm | ||
排氣口 | 40KF法蘭 | |||||
氮氣入口 | Rc1/2 | |||||
冷卻水入口 | Rc3/4 | |||||
熱水出口 | Rc3/4,2個 | |||||
電源(50/60Hz)額定電流 | 3相AC380V 16A | 3相AC380V 19A | 3相AC380V 20A | 3相AC380V 27A | ||
重量 | 約800kg | 約1000kg | 約800kg | 約1000kg | ||
選購品 | 棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能 |
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