氦鎘激光器
PLASMA公司是世界上的氣體激光器生產商，其產品主要特點是高質量、長壽命、中等價格。
1. 標準設計，HCL系列
波長442nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發散角 (mrad) |
HCL-50V | 60 | TEMOO | 100:1 | 1.6 | 0.9 |
HCL-60V(I) | 80 | TEMOO | 100:1 | 1.6 | 0.9 |
HCL-70VМ(I) | 100 | 多模 | 1:1 | 2.0 | 2.5 |
HCL-100V | 100 | TEMOO | 100:1 | 2.1 | 0.9 |
HCL-100V(I) | 150 | TEMOO | 100:1 | 2.1 | 0.9 |
波長325nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發散角 (mrad) |
HCL-30UM(I)P | 30 | 多模 | 100:1 | 1.6 | 2.5 |
HCL-10U | 10 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 0.9 |
HCL-30UM(I) | 35 | 多模 | 1:1 | 1.6 | 2.5 |
HCL-100U(I) | 30 | TEMOO | 100:1 | 1.7 | 0.9 |
波長442nm和325nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發散角 (mrad) |
HCL-40 | 5/35 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.4/1.4 | 0.9/0.9 |
HCL-40M | 10/40 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.5/1.5 | 2.5/0.9 |
HCL-40(I) | 15/50 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.5/1.5 | 2.0/0.9 |
HCL-100(I) | 20/100 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 2.0/2.0 | 2.0/0.9 |
注：帶(I)的型號激光相干長度為30cm，不帶(I)的型號相干長度為10cm
2. 緊湊型設計，HCCL系列
波長442nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發散角 (mrad) |
HCCL-10V | 10 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 1.3 |
HCCL-20VМ | 20 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-25V | 25 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 1.3 |
波長325nm | |||||
型號 | 功率(mW) | 橫模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 發散角 (mrad) |
HCCL-4UM | 6 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-8UM(I) | 12 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-15UM | 15 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-30UM(I) | 25 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
注：帶(I)的型號激光相干長度30cm，不帶(I)的型號相干長度10cm。
氮分子激光器
氮分子激光器的發射帶在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器，由于其*的性能（波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W），被廣泛應用于微電子領域如光掩模、復雜的集成電路、薄膜電阻的生產、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亞微米量級的元件。此外，還被用于多種感光材料的高效曝光光源。
參數 | NPL-3 | LGI-505 | LGI-511 |
波長, μm | 0.337 | 0.337 | 0.337 |
脈沖能量, μJ | 30 | 120 | 240 |
平均功率, mW | 3 | 120 | 240 |
光束直徑, mm | 2 | 5 | 5 |
脈沖重復頻率: | 1-100 | 5-1000 | 1 -1000 |
脈沖寬度, ns | 5±1 | 8 ±2 | 8 ±2 |
尺寸, mm | 350x325x150 | 484x510x215 | 1140x525x345 |
重量, kg | 10 | 35 | 105 |
電壓, V | 220 | 220 | 220 |
功率消耗, w | 50 | 1200 | 1500 |
制冷方式 | 風冷 | 水冷 | 水冷 |
工作溫度, OC | 0...+40 | 0...+40 | +10...+40 |
質保工作時間, h | 500 | 1000 | 500 |
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