HPR-80 活潑性/腐蝕性氣體分析儀
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- 公司名稱 北京英格海德分析技術有限公司
- 品牌
- 型號 HPR-80
- 所在地 北京市
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2021/12/30 18:30:00
- 訪問次數 644
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HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器。可快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應用:
• 等離子體/反應性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點:
• 加熱的電拋光波紋管,快速偶合連結器
• 可清除的,帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質量數為 2500 amu.
• 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計,壓力檢測可不受分析物影響
• 穩定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演,歸一化及單峰參考
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