2 原理特征
2.1 技術原理
通過高頻振蕩的線圈,使通入的氬氣電離, 當電子的密度達到一定量時,立即產生等離子體
火焰,火焰中心的溫度可達10000K.將液態樣品通過進樣系統引入ICP 火焰,樣品中所含有的元
素將被激發,發出特定的光譜線,將光譜線引入光譜室,經光柵分光,將不同元素的光譜分開,通過
光譜線強度的變化確定樣品中的元素含量. ICP 采用27.12MHz 的高頻發生器,配合帕邢－龍格
一維高光通量分光系統,采用 15 塊CCD 的檢測器及165-770nm 的*光譜響應范圍,完成大
約70 幾種元素的快速分析.
2.2 儀器特色。
? 測定分析譜線在 190nm 以下的元素時，不需要光路系統預吹掃，開機即可檢測。具有專
利的充氬氣密閉循環光路系統；可以隨時測定S180nm, P 177nm，Al167nm 。
? 采用的分光系統與15 塊CCD 檢測器相結合，采用一維分光系統，所有分析譜線都采
用一級譜線，能量強，另外光路系統鏡面少且不含透鏡，光通量大，檢測靈敏度高。開機
穩定時間短，開機就可點火，操作簡單方便，操作成本低；
? 4 秒可以實現全譜分析。采用多個 CCD 同時進行檢測， 每個 CCD 分別進行*化設計
且各自并聯讀出，分析速度快、無飽和現象；
? 線性動態范圍寬，可以達到109 通過計算機自動進行譜線切換自動擬合標準工作曲線；
? 運行操作成本低，分析速度zui快，檢測器不需低溫致冷和氬氣氣體吹掃，光路系統密閉充
氬測定 190nm 以下的元素譜線不需氣體吹掃，氬氣消耗比同類產品少一倍；儀器穩定性
好，儀器維修維護成本少。
? 操作zui簡單，譜線選擇靈活，自動化程度好，檢測器不需低溫致冷，開機即可點火做樣；
遠紫外譜線分析不需氣體吹掃光路，不管分析190nm 以上還是190nm 以下的譜線，都可
隨時分析。所有氣流都采用質量流量計計算機自動控制，全部分析參數包括炬管位置都是
計算機自動控制。
ICP 技術方案
? 穩定性好, 光路系統和檢測器恒溫在同一溫度，光路系統全部密封充氬自循環，光學原件
不受環境影響；光路系統采用光學原件zui少，減少了故障概率。
? 固體檢測器不必致冷到零下，可以直接點火做樣，也不必對檢測器進行氣體吹掃，光學室
和檢測器恒定在相同溫度15℃，儀器的穩定性好、使用壽命長，采用一級譜分析且光路系
統光學鏡面少，無透鏡，譜線強度高，檢測器噪聲可以忽略，不必通過降溫來降低檢測器
噪聲。
? 分析軟件功能強，除了定性、半定量、定量分析功能外，還可以方便地進行未分析元素的
事后補加和標準曲線的修正而不必再次做樣，對沒有標準樣品的待分析樣品可以采用標準
加入法進行分析，可以實現譜線自動切換等。
3 技術指標
3.1 技術參數
本儀器為帶有 ICP 激發源和半導體固態檢測器的全自動發射光譜同時檢測的全譜直讀發射光
譜儀，用于對液體樣品中各種元素的定性、半定量和定量分析。
SPI 接口技術可以分析金屬、高固態含量樣品、有機樣品或懸浮液中較高含量和主量元
素，線性范圍更寬、準確度和精確度更好。
優化的薄層、低流速氬氣吹掃確保外光路沒有氧氣減少對UV 譜線的吸收，防止入射光學部件
的污染，確保165 －190nm 譜線范圍發射譜線的優異的穩定性和的靈敏度。
儀器由以下主要部分組成
? Polychromator 分光系統
? Detectors 15 個CCD 檢測器
? UV-System 紫外光學密封充氬循環系統
? Generator RF 發生器
? Sample introduction system and torch unit 進樣系統及炬管組件
? Spectrometer control 光譜儀控制部分
? Data processing system 數據處理系統
? Software 軟件系統
各部分技術描述
Polychromator 分光系統
? 恒溫在 +15?C ? 0.5?C
? 帕邢－龍格羅蘭圓設計
? 焦距 750mm
ICP 技術方案
? 全息凹面原光柵
? 光柵材料
? 氟化鎂光學部件
? 全部是1 級波長覆蓋
? 波長范圍165 －770nm
? 入射狹縫 15 微米
Detector 檢測器
? 根據所在波長精心選擇并進行*化設計的 15 個線性CCD 連續排列在羅蘭圓上
? 每個CCD 的象素為3648 個
? 像素分辨率為3 皮米，光學分辨率8 皮米
? 與光學系統一樣恒溫在+15?C ? 0.5?C
? 并聯讀出設計
? 每個CCD 具有自己的信號處理系統
? 智能數據獲取和數據消除系統
? 動態范圍為109
? zui短積分時間小于1 毫秒
? 一次zui短測量時間為4 秒鐘（包括全譜檢測及賦值）
? 積分時間根據每個象素的信號強弱自動*化
? 全波長覆蓋
? 自動暗電流校正
? 自動波長位置標準化
? TCP/IP 通訊接口
UV System 紫外密閉充氬循環系統
? 的UVPlus? 紫外密閉充氬循環系統
? 光室充滿氬氣并*密封不需消耗吹掃氣體
? 氬氣自動凈化系統
RF-Generator RF 發生器
? 自激式
? 頻率為27.12MHz
? 輸出功率：0.7 ～1.7KW
? 功率穩定性<0.1%
? 等離子體自動點火
? 低功率、低氬氣氣流的待機模式
? 全部計算機控制
? 空氣冷卻（不需附加冷卻設備）
? 固態功率發生器
