類型

高溫加熱型1000℃（高于600℃需真空環境）

腔體材質

6061鋁合金

腔體內尺寸

147mmX72mmX22mm

腔體外尺寸

170mmX95mmX37mm

腔體重量

約1.1KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋水冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺材質

高溫絕緣陶瓷

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

樣品臺-視窗 距離

13mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

樣品臺測溫傳感器

S型熱電偶

樣品臺溫度

室溫到1000℃

樣品臺隔熱材料

金屬屏蔽+陶瓷隔熱

樣品臺測溫誤差

±1℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min  值