這是一套分析放射性發光的終點監測設備,為以等離子技術為基礎的半導體薄膜制程進行終點檢定或等離子條件的監控而研制。數學模型技術賦予它通過捕獲微弱信號的變化進行終點檢定的能力。在放射性發光中捕獲微弱變化的能力顯著地提高了靈敏度。對于抗干擾性的改善確保了本設備在復雜環境下持續不停的生產線上獲得高穩定的運行。
產品介紹
特征
布賴特光學系統是通過HORIBA Jobin Yvon制造的一個巨大的,直徑為70 mm的偏差糾正凹面光柵而實現的。凹面光柵本身的聚光能力使其具有 比短焦距車爾尼特納型光譜儀更為明亮的一套簡易光學系統架構,并且可以小化因為鏡面及其他反射面造成的反射損失。
背光式CCD可以達到高量子效率,確保從紫外光到可見光之間的寬波段范圍內獲得穩定的分光鏡使用。高靈敏度的測量在紫外光波段,特別是在那些較少受到干擾影響的波長范圍,使終點監測成為可能。
應制程控制的要求,此軟件可以執行多種工序,從等離子體現象分析到測量數據的數據庫創建和生產設備的遠程遙控。測量工序的可編程架構設計使其可以對多重監測和時序處理進行設定。它賦予檢測器不僅可以被用于終點監測,同時也可以被廣泛的用于等離子體環境下的監測。
一旦收集到光譜學的數據后,對制程優化或者終點監測的模擬可以通過應用新的制程設計反復進行。
從巨大并伴隨干擾的光譜數據中發現細微的圖形差異是一個艱巨的挑戰。自動圖形軟件將自動地找到圖形變化的特征并測定為合適的終點波長。
當頻率率波器將干擾信號從原始信號中過濾掉后,不同信號(粉色線)在圖形中的比率(黑色線)變化(上升(A+B+C)/減小(D+E+F))可以使我們準確監測到終點的位置。
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