6英寸劃片機能對各種硬脆材料進行切割或槽加工。如硅片鍺、玻璃、鐵氧體、鈮酸鋰、鉭酸鋰、磷化鎵、砷化鉀、磷砷化鎵氧化鋁及各類陶瓷等
J51152/ZF6英寸劃片機
劃片機 切割機 分切機
J51152/ZF6英寸劃片機主要技術規格:
硅片zui大加工尺寸:Ø152.4mm (6")
x軸 (1)zui大行程:200mm (2)工作行程范圍:20~160mm (3)切割速度分兩級: a)進給:0.1~70mm/s 回程:70mm/s b)進給:1~300mm/s 回程:300mm/s
y軸 (1)zui大行程: 160mm (2)zui小步進距離:0.002mm (3)zui大步進距離:30mm/s (4)定位精度:0.003mm
z軸 (1)zui大行程19mm(以Ø 50刀盤為準) (2)zui小步矩0.002mm
θ軸:手動旋轉:90˚±30"(可微調)
主軸轉速范圍:10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD對準系統設備尺寸mm(寬x深x高):約906x1020x740
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