電源：220V；

燈管：特殊格冊狀燈管（進口石英材料），250W，壽命5000小時；

主要工作光譜：185nm+254nm

有效清洗面積：6、8、10、12、16英寸（可選擇其中一種）

清洗時間控制器：0-99.99小時或分鐘；

壽命計時器：計算燈管使用壽命；

照射高度： 20-100mm，可通過托盤四邊螺母調節高度;

UV ON/OFF指示，異常指示/警報;

燈管預熱：具燈管預熱提示功能，15分鐘;

排風功能：自帶抽風系統，可調節風速，8cm直徑出風口，配置風管及鋁膠帶

應用領域

■在進行薄膜沉積之前*行基片清洗。清除浮渣和穩定化處理光刻膠。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透鏡，反光鏡，太陽能面板，冷軋鋼，慣性引導零件和 GaAs芯片

■清潔焊劑，混合電路以及平板LCD顯示器

■蝕刻特氟隆，氟橡膠以及其它有機材料

■增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面

■增強玻璃的除氣作用

■基片藍膜去除

■增強塑料表面的鍍膜的粘附性

■基片終測后墨跡清楚

■去除光刻膠

■平板顯示器/液晶顯示器

■去除光刻機臺上的光刻膠殘留物

■在電路板封裝和打片之前清洗）

■光纖

■增強表面親水特性

■為生物科學應用做清洗和消毒

■光學透鏡

■其它應用