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華翼H5160高純氣體分析儀,配備了增強型等離子體檢測器(Enhanced Plasma Detector,EPD)。EPD的原理是在檢測器的石英小池周圍加以高頻、高強度的電磁場,在高頻、高強電磁場的作用下載氣和雜質氣體被電離為等離子體,等離子體具有較高的能量,當樣品進入檢測器的石英小池之后,被等離子體電離并發出不同波長的光,經相應的濾光片及光電二極管后轉換為電信號,因此,相比于痕量分析中常用的PDHID檢測器,EPD選擇性更好,靈敏度更高,另外,EPD可以選擇氬氣等相對低成本的載氣種類,維護成本低于PDHID。
EPD提供了更好的信噪比以及更高的電離效率,是現有等離子體發射檢測器(Plasma Emission Detector,PED)的升級換代版本的優勢在于其聚焦/穩定和電子注入電極技術,以及高度穩定的頻率控制系統。目前其他商品化PED存在的主要缺陷是穩定性差,表現在三個方面:一是等離子體在常壓下的不穩定性;二是等離子體石英池內表面的電荷聚集效應;最嚴重的是石英池內表面、尤其是放電電極附近的位置,受長時間濺射效應的影響,會逐漸粗糙化,導致色譜峰的拖尾/展寬,進而靈敏度減低,而EPD所采用的技術在上避免了上述缺陷。
雜質種類 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | |
檢測限(ppb) | 氦載氣 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
氬載氣 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
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