機構 · 方式

多孔質靜壓空氣軸承 · 工作臺回轉式

半徑方向
回轉精度

(0.02+0.0004H)µm
H:工作臺面上算起的高度(mm)

測定徑

內外徑都是?368mm

積載重量/裝載徑

25kg/?450mm/?510mm

上下移動量

300mm(使用b觸針臂時）
250mm(使用b觸針臂時）

回轉軸線和上下
移動部的平行部

0.8µm/200mm 0.45µm/200mm