儀器以差壓傳感器為感壓元件，通過向被測物（產品）內部充入規定壓力的壓縮空氣或氮氣，根據其內部壓力的變化從而檢測出被測物是否存在泄漏及泄漏大小。首先氣密檢漏儀向標準品或標準端與被測物同時充入調壓后的氣體，然后停止充氣進行保壓，保壓過程中通過高靈敏度差壓傳感器，感測出被測物側相對標準品側因泄漏導致的壓力差，即被測物與標準品之間的差壓。