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無氧(無塵)充氮烘箱

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1.1用途

    高溫無氧潔凈烘箱主要應用于半導體,液晶材料,MES等涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜硬烘(Hard baking)等工藝,本設備適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。本設備內部采用強制對流風道,加熱控制系統,配合無氧充氮控制系統,(耐高溫高效過濾H.E.P.A選配),確保工作室內達到無氧無塵的潔凈防氧化環境。

1.2系統

    本設備包含密閉潔凈箱體、加熱系統、溫度控制系統、充氮控制系統、,(耐高溫高效過濾器H.E.P.A選配),安全保護裝置等。

1.3特點

    本設備利用的鈑金焊接加工技術結合溫度、過濾、充氣等控制系統進行設計和制造,產品達到水平。采用的焊接技術、傳感器智能控制、節能設計、密封性好、高強度、高潔凈度、易操控、高穩定性、安全性,符合國際審美觀的標準化整體式結構箱體;具有操作簡便、控制系統自動化程度高、系統運行穩定、運行時間長等優點。

1.4簡介

 

    本公司(ENOHK)立志于各種溫濕度設備的開發和生產。主要產品包括電子干燥柜(防潮箱)、氮氣柜、小型實驗烘箱、工業級精密熱風循環烘箱、無塵潔凈烘箱、無氧充氮烘箱,真空干燥箱、各類溫濕度環境老化測試試驗箱等多款產品;其運用到半導體制造、光伏制造、汽車零部件、電子元器件、光電照明、塑料、橡膠、儀表等各大領域;在長達多年的時間內,服務于國內外各大企業、高校、科研機構并得到用戶的肯定與好評。

    多年的不懈耕耘,我們堅定信念,唯有堅持把好品質關才能贏得未來,我們只選用的零部件,嚴把供貨渠道,將生產管理做到,堅持用品質去贏得市場。                

1.5資質

 ISO9001認證/CE/UL/EMC

1.6滿足行業標準

ISO14644-1《潔凈室及相關控制環境國際標準》


GB/T16292-1996《空氣潔凈度分級標準》


FS-209E《美國聯邦標準空氣潔凈度級別》


 GB/T30435-2013《電熱干燥箱及電熱鼓風干燥箱


GB50056-93《電熱設備電力裝置設計規范》



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