Polaris-C-4(閉循環)特點：

載物Chuck 溫度范圍：10K-500K        

載物chuck 可到4英寸

制冷功率：1W@4.2K

探針振動抑制：< +/- 60 nm in 30 mins

雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度

可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體,極限真空到10-10 torr

客戶訂制

溫控規格:  

可選附件

防震桌

內置/外置探針臂

顯微鏡

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動裝置

高真空腔體

客戶定制。