SR2000系列臺式粗糙度測量儀產品特點性能和成本的平衡
測量功能
粗糙度功能:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
基礎參數
規格號 | 參數 |
測量范圍 | X軸 0-220mm可選 |
Z軸 0-620mm可選 | |
Z1軸 ±620μm | |
Z1軸線性精度 | ≤±(5nm + 2.8%) |
規格號 | SR2000 | |
測量范圍 | X軸 | 100~220mm |
Z軸 | 320~620mm | |
Z1軸 | ±620μm/262144:1 | |
粗糙度參數 | 線性精度 | ≤±(5nm + 2.8%) |
重復性6 | 1δ≤1nm | |
截?波? | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
評定?度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
驅動速度 | X軸 | 0.05~15mm/s |
Z軸 | 0.2~15mm/s | |
粗糙度 | 粗糙度功能:Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、波紋度參數:Mr2、RmrWa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始輪廓參數:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr |
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