奧林巴斯的光學技術和數字技術的融合,孕育出了新型光學數碼顯微鏡DSX,DSX光學數碼顯微鏡擁有的直觀操作和毫不動搖的可靠性,為全體用戶帶來了全新的顯微世界。
DSX 系列數碼顯微鏡將我們的光學技術與的數字技術融為一體。DSX1000 數碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品,包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單,只要放上樣品,就可以輕松地完成 3D 觀察、測量、報告自動生成等一系列操作。
放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉式載物臺。
可迅速切換物鏡和六種觀察方式。
遠心光學系統保證了在整個放大范圍內的測量準確度。
放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉式載物臺
DSX1000 數碼顯微鏡新增了 5 個物鏡,物鏡總數達到 15 個。20-7,000X 的放大倍率范圍實現了精確觀察,而長工作距離物鏡則實現了對不規則樣品的觀察,例如電路板和機加工零件。顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉± 90°,更易于觀察和分析薄樣品,如晶圓,或大型樣品,如汽車部件。
可調節的頭部和載物臺
顯微鏡頭部和載物臺可以分別旋轉
使用高分辨率長工作距離的物鏡
長工作距離使用戶能夠觀察不規則形狀的電子基板。
20–7,000X 放大倍率下的晶圓圖像對比
可迅速切換物鏡和六種觀察方式
顯微鏡的電動變焦光路結合了的觀察功能,可實現六種觀察方法和對比度增強功能:明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對比度增強功能可以突出樣品表面的不規則和輪廓形貌。例如,此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規則形狀與細微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對象。
太陽能電池圖像對比
(左圖:明場觀察,右圖:偏光觀察)
單側光線照射突出了表面的不規則形狀。該項技術適用于觀察不規則形狀、扭曲的樣品和槽口。
集成電路 (IC) 芯片圖像對比
(左圖:常規;右圖:帶對比度增強功能)
色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。
遠心光學系統保證了在整個放大范圍內的測量精確性。*
汽車制造商、精密設備和其他產品制造商必須精確測量和分析產品的規格,以證明產品的安全性。DSX1000 數碼顯微鏡使用遠心光學系統,在整個放大范圍內圖像失真極低,實現了有保證的準確度和重復性的高精度測量。為了確保準確度,在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后,奧林巴斯的技術人員將根據客戶使用環境對每臺顯微鏡進行校準。
遠心光學系統和非遠心光學系統的圖像采集對比圖
改變聚焦位置不會改變圖像大小。
您只需要一臺 DSX1000 顯微鏡就可滿足各種觀察和分析需要,改善檢驗的工作流程。鏡頭數量增加至 15 個,涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法,對各種樣品進行觀察與測量。比如突出顯示樣品表面的不規則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺可以分別進行± 90°的自由角度調節,從而滿足對各種復雜外形樣品的任意角度觀察。另外,新開發的算法可以實現更快的 3D 圖像采集,與奧林巴斯傳統數碼顯微鏡相比,速度快了近十倍。最后,我們將根據每位用戶的工作環境校準顯微鏡,以幫助用戶實現精確、高效的觀察和測量。
DSX系列并非操作顯微鏡本身, 而是通過直觀、易懂的GUI 畫面菜單進行操作。可根據用戶熟練程度選擇操作模式, 并通過觸摸屏、鼠標、操縱桿等的全新操作方式, 實現了舒適的操作性能。無論是具備顯微鏡方面的知識和技能的操作人員, 還是對顯微鏡不熟悉的操作人員, 都能直觀的完成操作。
在DSX系列上,根據用戶的熟練程度,優化設計了2個GUI的操作模式:"標準模式"和"初級模式"。同時,還配置了可以自定義標準模式,專門用于常規工作的"操作員模式"。此外,根據啟動應用程序時輸入的ID和密碼,可以調出各用戶設置的觀察、分析和測量條件等環境,顯示該用戶的常用畫面。
初級模式
只要按照畫面的提示步驟操作,就能得到輸出的模式。
標準模式
為了使顯微鏡的熟練操作人員能夠直觀完成操作,按照工作流程配置了必要按鈕等的模式。運用電動控制提高了操作速度。
操作員模式
自定義標準模式用于常規工作的模式。可以提高重復性工作的效率。
無論是提高放大倍率縮小視場范圍,還是改變觀察方法進行暗視場觀察,都不再會遺漏觀察位置。觀察過程中的位置始終以明視場影像顯示在"宏觀地圖"上,正在觀察的部分一目了然。也可以將"全景功能"拼接的影像顯示在"宏觀地圖"上。
細膩的倍率調節可以隨心所欲、毫無壓力的完成。采用無縫放大和縮小,改變倍率時不會發生視場遺漏而錯過觀察位置。DSX510系列以13倍光學變焦搭配30倍數碼變焦,實現了高倍觀察。僅需一個物鏡幾乎就可以覆蓋傳統金相顯微鏡的倍率范圍。可安裝兩個物鏡,相互組合能覆蓋更寬的倍率范圍。此外,相同倍率下切換物鏡,也不會改變視場尺寸。不僅如此,即使是有凹凸的樣品,利用專門設計的高NA長工作距離鏡頭,便可以完成檢查和測量而無需擔心發生碰撞。
如果僅以加強燈光來處理"暗處泛黑(黑斑)"問題,反而會引起"亮處泛白(飛白)"的新問題。DSX系列的"HDR"(高動態范圍)功能,利用變換曝光拍攝的多張圖片進行合成,解決了該課題。不但表面微細凹凸得到強調,同時還能消除光暈,獲得真實反映樣品表面的影像,因而輕松捕捉到以前難以分辨的缺陷。
無論是暗視場影像還是DIC影像,"HDR"都可以一鍵完成清晰觀察。
利用"WiDER"實時觀察具有亮度差的樣品
"WiDER"可以解決實時影像中"黑斑"與"飛白"問題。通過大幅擴展動態范圍的的邏輯運算,只需一鍵單擊,就可以消除樣品表面亮度差,同時消除光暈,實現了以往難以實現的對明亮部分及黑暗部分的同步觀察。DSX510系列采用了全新的智能圖像處理技術,不降低幀速率,是實時觀察的。
只需一鍵單擊,就可以清晰的實時觀察有亮度差的樣品
為了能夠提供適合觀察目的的觀察法,DSX510上配置了工業檢查中所必需的所有主要觀察法,不需要傳統顯微鏡上的復雜設置和調節。單擊一下就可以切換觀察法,所以顯微鏡的初級操作人員也能夠快速得到所需的影像。
DSX1000系列支持工業檢查中的主要觀察法,并在此基礎上搭載了MIX(BF+DF),實現了輕松檢測細微瑕疵、缺陷的功能。的光學系統為用戶提供作為檢查、測量的根本的高質量影像。除此以外,使用"多圖預覽"功能,可以在觀察各種觀察法拍攝的影像一覽的同時選擇圖像,讓觀察法的選擇也變得簡單。
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