INCAWave是采用全聚焦的高精密波譜儀。精密的波譜儀和穩定可靠的控制電路使INCAWave成為*秀的波譜系統。

　　儀器簡介：

　　INCAWave是采用全聚焦的高精密波譜儀。精密的波譜儀和穩定可靠的控制電路使INCAWave成為*秀的波譜系統。

　　主要特點：

　　·波譜儀的傾斜安裝不再對樣品的工作距離有苛刻的要求，樣品的高度可以在2mm內變化，因此不再需要像電子探針及平行光波譜儀所要求的光學顯微鏡輔助系統。

　　·譜儀的分辨率zui低至2eV，能夠分辨非常接近的譜線。

　　·優異的探測極限，多種元素zui低可至100ppm

　　·能量探測范圍高達10.8keV，(15keV可選)

　　·準確的XPP基體修正方法

　　·可靠穩定的機械設計，經歷了25年的歷史考驗

　　·與各種SEM的*配合包括低真空和ESEM

　　·低束流(<5nA)下獲得高空間分辨率，同時對包括輕元素在內的多重元素準確定量分析