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K-Patents半導體行業在線折光儀PR-23-MS

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K-Patents 作為在線折光儀的,其產品擁有光學、機械結構、信號處理、智能圖像等全面的技術,擁有很多*的產品優勢,保證了產品技術*于其他品牌的同類產品。

K-Patents擁有許多不同型號的在線折光儀,廣泛應用于化工、石化、造紙、食品飲料、制藥、半導體、冶金等各行業的在線溶液濃度及密度測量。所有的產品性能均*,區別僅僅在于為了滿足用戶不同測量環境和技術規格需要。

詳細信息 在線詢價

公司簡介

芬蘭K-Patents OY是世界*臺在線數字式折光儀制造商,是**僅專業生產數字式在線折光儀,且擁有光學、機械結構、信號處理、智能圖像診斷等多項世界的制造商。

K-Patents在線折光儀從**保障儀表的高準確度、高穩定性和高可靠性,它能承受各種惡劣測量環境挑戰,確保在各種惡劣條件下連續免維護運行10年以上。

 

K-Patents產品被廣泛用于各種溶液濃度(或糖度折射率)測量,在食品飲料、生化制藥、石油化工、半導體、采礦冶金、造紙紡織等各個行業安裝數量已超過12000臺!!!

 

更多信息請登錄::宋體">或/p>

 

技術優勢

芬蘭K-Patents 在線折光儀溶液濃度測量的理想選擇, 它具有高準確度、終身免維護、無零點漂移、不受氣泡、顆粒物雜質、振動影響, 無備品備件消耗等優點。

  1. 真正意義上的數字化測量: 不受溶液中氣泡、顆粒物的干擾。
  2. 光學核心技術:儀表終身無漂移,無再校準,無需機械調整。
  3. 智能光學圖像診斷功能,用戶隨時可以查看zui底層工作狀態。
  4. 所有傳感器可以任意互換使用,不受測量介質限制,即插即用,無需做任何設置更改。
  5. 以太網連接:方便與電腦通信,進行數據存儲和儀表操作。
  6. 溫度補償:內置Pt1000溫度傳感器,自動測量溫度并進行補償。
  7. 快捷的儀表校驗:使用標準折射液即可快速校驗儀表,以滿足工廠質量管理體系要求。
  8. 雙探頭連接:一個變送器可以同時連接兩個傳感器。
  9. 易于安裝:提供法蘭或夾鉗式安裝。
  10. 免維護,低運行成本:無需日常維護,備件耗用極低。

 

測量原理

K-Patents 在線折光儀 PR-23利用光的折射、全反射原理,采用數字化智能圖像處理,以及多項準確測量液體折射率及濃度

 

光的折射
光的折射現象是指光從一種介質斜射入另一種介質時,因傳播速度不同而發生傳播方向改變,從而使光線在不同介質的交界處發生偏折。光的折射與光的反射一樣都是發生在兩種介質的交界處,只是反射光返回原介質中,而折射光線則進入到另一種介質中。在兩種介質的交界處,既發生折射,同時也發生反射。

光的全反射
當光由光密(即光在此介質中的折射率大的)媒質射到光疏(即光在此介質中折射率小的)媒質的界面時,全部被反射回原媒質內的現象。

臨界角
指光發生全反射時的入射角,當光射到兩種介質界面,只產生反射而不產生折射的現象.當光由光密介質射向光疏介質時,折射角將大于入射角,當入射角增大到某一數值時,折射角將達到90°,這時在光疏介質中將不出現折射光線,只要入射角大于或等于上述數值時,均不再存在折射現象,這就是全反射。全反射的條件是:光必須由光密介質射向光疏介質,入射角必須大于或等于臨界角(C)
sinc=n1/n2 (c為臨界角,n1為棱鏡折射率)

 

PR-23-MS典型應用

K-Patents半導體行業在線折光儀PR-23-MS實時監測整個半導體制造工藝中的連續液體化學品濃
度。也就是從化學品供應直到工藝的全過程的質量控制。

散裝化學品供應
在搬運和儲存過程中可能會發生化學品質量的變化。如果化學品規格不在預設的范圍內,PR-23
-MS會觸發報警以防止錯誤的化學品或濃度不符的化學品進入到工藝流程中。

濕法蝕刻
蝕刻劑的溫度和濃度是濕蝕刻速度的主要影響因素。如果知道蝕刻劑濃度,就可以優化蝕刻工藝
并檢測結束點。例如,當使用PR-23-MS連續監測加熱的氫氧化鉀水溶液濃度就可以優化氫氧化鉀
蝕刻工藝。

蝕刻后晶片清潔
PR-23-MS用于測量昂貴的超純化學品濃度和聚合物清除,例如EKC-265蝕刻后晶片清潔。這給浸泡
的過程提供了實時的指示,有利于增加浸泡液使用以及減少化學品的消耗。

化學機械拋光
PR-23-MS提供一種監測酸液和化學品濃度的方法,例如化學機械拋光摩擦泥漿中雙氧水的含量。這
可以用來檢測結束點以及達到更好的拋光均勻性。

典型的化學品以及混合液

醋酸CH3COOH,丙酮CH3COCH3,氨水NH4OH,氟化銨NH4F,氫氧化銨NH4OH,硫酸銨(NH4)2SO4,檸
檬酸C6H8O7,稀氫氟酸DHF,氯化亞鐵FeCl2,蟻酸HCO2H,氫氟酸HF,鹽酸HCl,雙氧水H2O2,異
丙醇IPA,氯化鎂MgCl2,氯化鎳NiCl2,硝酸HNO3,磷酸H3PO4,氫氧化鉀KOH,氯化鈉NaCl,
氫氧化鈉NaOH,硫酸H2SO4,羥化四甲基銨TMAH (CH3)4NOH

RCA1, SC1 (APM), SC2, RCA2, EKC265, ACT930, ACT970

 

技術規格

折射率范圍:    滿量程時 nD =1.3200...1.5300(對應 0...100 % b.w.

準確度:             折射率 nD ± 0.0001(通常情況下對應 ± 0.05% 重量百分比濃度)

重復性:        折射率 nD ± 0.00005(通常情況下對應 ± 0.025% 重量百分比濃度)

響應速度:      無阻尼時間 1 s,阻尼時間 5 分鐘可選

光學核心部件:  無需機械調整(獲美國號 No. US6067151

數字化測量:      3648 像素 CCD 照相機

光源:                LED 3D光源,589 nm 波長,鈉D

溫度傳感器:    內置 Pt-1000,線性遵從 IEC 751

溫度補償:      自動數字補償

過程溫度:         -20°C 150°C180°C可選)

校準:         菜單式引導,使用標準折射率液體自動校驗,并生成可追溯校驗報告供存檔。

自診斷:       智能圖像診斷功能,供用戶實時掌握光學系統工作原始狀態。

 

售后服務

終身檔案化用戶管理,支持,快捷完善的本地化服務

K-Patents 對 每一個用戶的貼心服務和支持也是它贏得廣泛贊譽的原因之一。自訂貨起,我們對每一臺儀表建立了電子檔案,任何*服務工程師都可以在線了解到儀表應用 信息,并將發生的售后記錄記錄在案。這一好處在于,用戶服務不會受到中間商,某個服務人員的影響,無論何時,用戶都可以享受到廠商的貼心服務。(附:客戶 檔案舉例)

 

凱帕特斯儀器技術咨詢(上海)有限公司是K-Patents 在華全資子公司 ,其主要任務就是為中國用戶提供更為快捷的專業化本地服務。我們具有非常專業的售后服務人員及裝備,儀表無需返至芬蘭工廠進行處理。

K-Patents 總部也非常重視對中國用戶的支持和服務,每年多次派遣技術人員親臨中國,進行用戶巡訪及培訓等。


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