Leica EM ACE600是完美的多用途高真空薄膜沉積系統,設計來根據您的FE-SEM和TEM應用的需要生產非常薄的,細粒度的和導電的金屬和碳涂層,用于分辨率分析。
Leica EM ACE600 高真空鍍膜機可以通過以下方法進行配置:濺射、碳絲蒸發、碳棒蒸發、電子束蒸發和輝光放電。
適用于Leica EM ACE600高真空鍍膜機的Leica EM VCT真空冷凍傳輸系統,是無污染的低溫掃描電鏡樣本制備的理想解決方案。
完美重現的結果
運行全自動化過程,輔以參數和協議設置。集成的石英測量和自動化3軸載物臺移動
容易清洗
可拆卸的門、卷簾、內部屏蔽、來源和載物臺,確保制備高品質樣本的環境清潔。
小巧緊湊
設計緊湊,占地面積小,節省實驗室空間。
操作簡便
直觀的觸摸屏,松推配合的連接器和免工具的目標變更,舒適的前門鎖定。
自定義配置
配備了儀器,可滿足您的具體需求。
低溫鍍膜
真空低溫傳輸系統適應將室溫鍍膜機轉換成低溫鍍膜機。樣本能在低溫下于受保護的環境中進行鍍膜和傳輸。
Leica EM ACE600 可以配置如下鍍膜方式:
. 金屬濺射鍍膜
. 碳絲蒸發鍍膜
. 碳棒蒸發鍍膜(帶有熱阻蒸發鍍膜選配件)
. 電子束蒸發鍍膜
. 輝光放電
. 連接VCT樣品交換倉,與徠卡EM VCT配套實現冷凍鍍膜,冷凍斷裂,雙復型,冷凍干燥和真空冷凍傳輸
碳絲蒸發的新紀元
厚達40nm的碳膜可以被精確設定并準確獲得,通過脈沖碳絲蒸發,結合連續膜厚監控(石英片膜厚控制),和*的軟件控制來實現。碳膜因此實現高度可重復性和均勻性。
得益于可拆卸式玻璃門,擋板和樣品室屏蔽內壁,鍍膜源和樣品臺,樣品室內部清潔工作非常簡便。
傾斜式鍍膜源配合旋轉樣品臺,可獲得區域更大,更均勻的鍍膜。根據實驗需求,可以同時加裝2種鍍膜靶源。
內置膜厚監控系統,石英片置于樣品臺正中,可獲得更加準確的鍍膜結果。
三軸馬達驅動樣品臺-無需破真空就可調整樣品臺高度角度。
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