一、ICP儀器保養的目的：1）及時發現儀器存在的故障

 一、ICP儀器保養的目的：
1）及時發現儀器存在的故障；
2）排查儀器隱患，及時發現，提出預防措施；
3）通過儀器保養，提高儀器的靈敏度，延長儀器的使用壽命；
4）增加儀器的穩定性，保證測試數據的準確性；
二、ICP儀器維護保養的內容:
1)  清理所有電路板、風扇和儀器表面灰塵
2)  清洗霧化器、霧化室、采光錐與炬管
3）更換冷卻循環水，清潔管道
4）真空管接頭、電磁閥開關密封性檢查調整光束狹縫位置
5）真空泵性能檢查，更換泵油，密封圈，分子篩
6)  檢查氣瓶到ICP間沒有漏氣，電路合格性確定
7)  檢查儀器燃氣、助燃氣傳感器，清洗
8)  RF高頻發生器除塵維護，真空光室維護                                         
9 ) 解答用戶的操作疑難問題