FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質量控制等全自動在線監測功能，解決了潔凈室AMC監測過程中人員投入大、數據監測頻率低、數據反饋不及時等問題；可應用于半導體廠區氣態分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監測。
數據可靠
系統實現了自動遠距離采樣、自動富集吸收、自動質量控制、自動分析、數據自動上傳全流程自動化。
避免人工誤差引入，數據準確可靠。
靈敏度高
大體積進樣濃縮，大幅提高系統檢測能力，檢出限可達亞ppt級，縮短系統運行周期。
監測面廣
單套系統最多可配置32個點位的樣品采集；
系統通過真空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內樣品的在線監測。
設計合規
系統管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計，滿足SEMI F57中相關析出雜質的控制要求。
吸收高效
在線雙吸收模塊設計，有利于節約樣品分析時間，數據輸出更快更高效！
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