一、工作原理
AO910系列擴(kuò)散硅壓力傳感器系全部采用進(jìn)口芯片，經(jīng)過精心的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，信號(hào)處理和組裝，并按照國家標(biāo)準(zhǔn)和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行測(cè)試而生產(chǎn)出來的新一代測(cè)量元件。基本原理是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)和微機(jī)械加工技術(shù)，在單晶硅片的特定晶向上，用光刻、擴(kuò)散等半導(dǎo)體工藝制做一惠斯登電橋，形成敏感膜片，當(dāng)受到外力作用時(shí)產(chǎn)生微應(yīng)變，電阻率發(fā)生變化，使橋臂電阻發(fā)生變化（一對(duì)變大一對(duì)變小）在激勵(lì)電壓信號(hào)輸出，經(jīng)過計(jì)算機(jī)溫度補(bǔ)償、激光調(diào)阻、信號(hào)放大等處理手段和嚴(yán)格的裝配檢測(cè)、標(biāo)定等工藝，生產(chǎn)出具有標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)的壓力變送器。
二、特點(diǎn)
1、輸出穩(wěn)定靈敏度高
一般應(yīng)變式傳感器輸出僅為10mv左右，而擴(kuò)散硅傳感器滿量程輸出為100mv左右，干擾及噪聲等因素影響相對(duì)較小，放大電路成本也相應(yīng)降低，分辨率大大提高。零壓力附近無死區(qū)。
2、精度高，重復(fù)性好
擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器實(shí)現(xiàn)了壓力受感，壓力傳遞力一電轉(zhuǎn)換由同一元件上實(shí)現(xiàn)，無中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，無壓力滯后，無機(jī)械位移變形，保證了極小的重復(fù)性和遲滯誤差，和良好的線性度，無蠕變、穩(wěn)定、可靠、壽命長(zhǎng)。
3、良好的溫度特性
由于采用了激光調(diào)阻，計(jì)算機(jī)補(bǔ)償?shù)燃夹g(shù)和巧妙控制擴(kuò)散濃度，實(shí)現(xiàn)滿量程溫度漂移（靈敏度溫度系數(shù)）自補(bǔ)償。克服了半導(dǎo)體晶片本身溫度系數(shù)大的缺陷，使變送器的零位和滿度溫漂達(dá)到了較高的水準(zhǔn)，拓寬了使用溫區(qū)。
4、適合于危險(xiǎn)易爆的領(lǐng)域和場(chǎng)所應(yīng)用
擴(kuò)散硅壓力傳感器，變送器具有低電流，低電壓，低功耗的特點(diǎn)，屬于本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品，并已取得了國家安全防爆機(jī)構(gòu)頒發(fā)的防爆證書。
5、高可靠性與抗干擾性能
產(chǎn)品由于采用了不銹鋼材質(zhì)與特殊防護(hù)結(jié)構(gòu)，和放大電路的防雷擊、抗干擾、抗過壓、過流等一系列保護(hù)手段，提高了可靠的密封防腐和抗惡劣工作環(huán)境的能力，適合一般工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量和控制的需要。
三、技術(shù)參數(shù)
1、技術(shù)指標(biāo)
使用對(duì)象 | 液體、氣體或蒸汽 |
測(cè)量范圍 | 表壓：0～5KPa～3.5MPa ， 密封表壓：0～7MPa～100MPa 絕壓： 0～20KPa～35MPa ， 負(fù)壓：-0.1MPa～2MPa |
輸 出 | 4～20mADC |
電 源 | 12～36VDC |
負(fù)載特性 | 4～20mADC二線制 |
溫度范圍 | -40℃～+ 85℃ |
外殼防護(hù) | 優(yōu)于IP65 |
防爆類型 | 隔爆型dⅡCT6; 本安型iaⅡCT6應(yīng)外配安全柵 |
2、性能指標(biāo)
綜合精度 | 精度等級(jí)：0.1%、0.2% |
穩(wěn)定性 | 優(yōu)于±0.25%FS/3年 |
溫度影響 | -10℃～+ 60℃范圍內(nèi):變化量小于±0.1%/ 10℃(0.1級(jí)) 變化量小于±0.15%/ 10℃(0.2級(jí)) -30℃～ -10℃, 60℃～+ 85℃:變化量小于±0.15%/ 10℃(0.1級(jí)) 變化量小于±0.20%/ 10℃(0.2級(jí)) |
振動(dòng)影響 | 在任何方向上振動(dòng)頻率為20-200Hz時(shí)，變化量小于±0.02% BFSL |
沖擊影響 | 任何方向100G沖擊11ms后，變化量小于±0.02% BFSL |
負(fù)載影響 | 只要輸入變送器的端子電壓高于12V，就無負(fù)載影響。 |
位置影響 | 安裝位置不影響零點(diǎn) |
3、結(jié)構(gòu)指標(biāo)
結(jié)構(gòu)材料 | 外殼：不銹鋼或低銅鑄鋁 接觸介質(zhì)材料與選擇的傳感器類型及采用的密封方式有關(guān) 全焊接結(jié)構(gòu)：316L SS “O”型圈密封結(jié)構(gòu)：丁腈橡膠、聚四氟乙烯或氟橡膠 |
過程連接 | 標(biāo)準(zhǔn)提供M20×1.5外螺紋 |
電氣連接 | 可根據(jù)需要從任何一個(gè)出口引出，建議使用φ10工業(yè)電纜作為引線，以便密封.引出接頭可選用通用電纜接頭PG16或M20×1.5，不引線一端用端蓋封住。 |
四、結(jié)構(gòu)尺寸
AO910工業(yè)型擴(kuò)散硅壓力變送器
AO910X精巧型擴(kuò)散硅壓力變送器
赫斯曼接頭L≤150
其它引線方式L≤120
AO910Y小型化擴(kuò)散硅壓力變送器
AO910Z衛(wèi)生型擴(kuò)散硅壓力變送器(平面膜結(jié)構(gòu))
