可測量各種精密機械零件的素線和截面輪廓形狀參數，角度處理（坐標角度、與Y坐標的夾角、兩直線夾角）、圓處理（直線到切線的距離、圓心到圓心距離、圓弧半徑、交點到圓心的距離、圓心到直線距離）、點線處理（交點到直線距離、交點到圓心距離、兩直線交點、交點與交點距離）、槽深、槽寬、水平、垂直距離、傾斜度、輪廓度等形狀參數。
X軸（橫導軌）：120mm
Z1軸（傳感器）：50mm
Z軸（立柱）：400mm
精度1：±(0.7+0.002L)μm
精度2：±(0.4+0.005H/100)μm
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