源要求85Vac到264Vac,47Hz到440Hz,功耗18VA標稱工作溫度量程15℃到30℃(59℉到86℉)儲存溫度量程-20℃到70℃(-4℉到158℉)震動符合MIL-T-28800D標準通訊端口RS-232(COM1),RS-232(COM2),IEEE-488.2壓力連接(molbox1+與molbloc)快速連接口
源要求
85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 功耗 18 VA
標稱工作溫度量程
15℃ 到 30℃(59℉ 到 86℉)
儲存溫度量程
-20℃ 到 70℃(-4℉ 到 158℉)
震動符合 MIL-T-28800D 標準
通訊端口
RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2
壓力連接(molbox1+ 與 molbloc)
快速連接口,等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200)
流量量程 <1 sccm 到 >5000 slm
請參見 molbloc-L 與 molbloc-S 的不同量程表
流量測量速率 1 秒
支持氣體
氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟環丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe)
準確度:
±0.1% FS(設定)、±0.05% FS(測量)
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