原理
X射線光電子能譜（XPS），基于光電離作用，當一束光子輻射到樣品表面時，光子可以被樣品中某一元素的原子軌道上的電子所吸收，使該原子解脫原子核的束縛，以一定的動能從原子內部發射出來，變成自由的光電子，而原子本身則變成一個激發態的離子。當固定激發源能量時，其光電子的能量僅與元素的種類和所電離激發的原子軌道有關，由此根據光電子的結合能定性分析物質的元素種類。經X射線輻照后，從樣品表面射出的光電子的強度與樣品中該原子的濃度呈線性關系，可以進一步進行元素的半定量分析。另外，XPS的重要應用是對元素的化學價態進行分析。
X-射線光電子能譜儀，是一種表面分析技術，主要用來表征材料表面元素及其化學狀態。其基本原理是使用X-射線，如Al Ka =1486.6eV，與樣品表面相互作用，利用光電效應，激發樣品表面發射光電子，利用能量分析器，測量光電子動能(K.E)，根據B.E=hv-K.E-W.F，進而得到激發電子的結合能（B.E)。
儀器技術參數
1 極限能量分辨率為0.43eV;
2 分析室真空度優于5×10-10 mbar;
3 能量分析范圍為0-5000eV;
4 通過能范圍為1-400eV；
5 固體樣品的表面成分分析、化學態分析，取樣深度一般約為1-10nm,其中金屬材料為0.5-3nm，無機材料2-4nm，有機高聚物5-10nm。
檢測項目
在化學、材料科學及表面科學中具有廣泛的應用價值。
為有機化合物結構分析提供信息，配合進行化合物定性定量分析，廣泛應用于有機化合物、農藥、及生物大分子結構與性能研究。主要應用于有機化合物的結構分析；化工產品分析；工業助劑分析；有機成份分析等。
送樣要求：
1.粉末測試需要量一般不小于0.2 毫升或者10毫克，樣品需干燥;
2.固體樣品尺寸塊狀5*5mm，厚度盡量低于4mm，表面須平整，樣品需干燥;
3.液體樣須滴在鋁箔或者硅片等載體上烘干形成液膜，一般重復3-5次烘干滴液差不多即可測不到基底;
4.材料必須是無放射性、無毒性、無揮發性物質(如單質Na, K, S, P, Zn, Se, As, I, Te, Hg等);
5.磁性樣品(可以測試)請送樣時告知;
6. 元素窄譜如果有特殊要求請備注，如果沒有特殊說明，默認測試峰，如果峰和其他元素的峰有重疊，默認測試次強峰。
7. 小于1%的元素可能測不出明顯信號；
常見圖譜：
