尼康CNC影像測量系統全新機型「NEXIVVMZ-S3020」適合車載電子、半導體零部件的NEXIV新系列「NEXIVVMZ-S3020」尼康株式會社(社長:馬立稔和、東京都港區)之子公司
尼康CNC影像測量系統全新機型「NEXIV VMZ-S3020」
適合車載電子、半導體零部件的NEXIV新系列
「NEXIV VMZ-S3020」
尼康株式會社(社長:馬立 稔和、東京都港區 )之子公司,Nikon Solution株式會社(社長:園田 晴久、東京都品川區),針對電子、半導體等精密零部件開發了CNC影像測量系統全新「NEXIV VMZ-S」系列,彈發售「NEXIV VMZ-S3020」。
CNC影像測量系統「NEXIV」是運用尼康的光學技術和圖像處理技術,可自動測量電子、半導體零部件的裝置。通過圖像分析與高速準確的邊緣檢測,對于復雜特殊形狀的被檢物品也能夠快速地進行測量。此次發售的「NEXIV VMZ-S」系列產品不僅保持了以往機型「NEXIV VMZ-R」系列產品的精度,還實現了更高的產能。
開發的由來
近年來,汽車行業在自動駕駛與電動汽車市場擴大的背景下,電氣化極速發展,用于汽車的電子、半導體零部件不斷增加。由于關乎生命安全,所以采用的零件也需要非常嚴格的品質管控,對測量設備的要求也隨之提高。所以,尼康研發并推出了適合于車載電子、半導體零部件等測量用途的CNC影像測量系統「NEXIV VMZ-S」系列。
主要特長
1.高產能
「NEXIV VMZ-S3020」在高精度線性光柵尺和精密載物臺提供高精度測量的同時,通過載物臺移動和圖像處理的高速化,與以往機型「NEXIV VMZ-R」系列產品相比實現了更高的產能。保證了客戶的精度和再現性,縮短了測量時間。
2.高品質圖像,高精度測量
通過無失真的高品質圖像,即使不在視場中心附近也能得到可靠的測量結果。另外,根據被檢測物品的形狀通過同軸表面光、底部透射光、8個扇面環形光的選擇與光量?照射方向的調整,可以敏銳的捕捉到難以檢測的邊緣。而且,通過1000點/秒的高速激光掃描,可以取得樣品的截面形狀,也可以對應高度方向的形狀評價。滿足各種各樣零部件的測量需求。
3. 的實用性
通過系列產品通用的尺寸測量軟件「NEXIV AutoMeasure」,可以暢快有效地進行尺寸測量。另外,以簡單形狀為對象,增加了將測量程序制作工序的一部分自動化的功能。
而且,為了滿足使用NEXIV系列顧客的要求,用于操控載物臺和測量頭移動的操縱桿單元,運用了更易操作的設計。
主要規格
量程 (X × Y × Z) | 300 × 200 × 200 mm(TZ型 使用低倍物鏡時:250 × 200 × 200 mm) |
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最小讀數 | 0.01 μm |
承載重量 | 20 kg(保證精度的載重:5 kg) |
測量精度 (L為測量長度(㎜)) | EUX,MPE, EUY,MPE(X軸、Y軸精度):1.2 + 4L/1000 μm EUXY,MPE?。╔Y軸精度):2.0 + 4L/1000 μm EUZ,MPE (Z軸精度) :1.2 + 5L/1000 μm |
相機 | 黑白/彩色 1/3英寸CMOS |
變焦鏡頭型號 * (倍率?視場) | ?1型: (0.5~7.5x ? 9.33 x 7 ~ 0.622 x 0.467 mm) ?2型: (1~15x ? 4.67 x 3.5 ~ 0.311 x 0.233 mm) ?3型: (2~30x ? 2.33 x 1.75 ~ 0.155 x 0.117 mm) ?4型: (4~60x ? 1.17 x 0.88 ~ 0.078 x 0.058 mm) ?TZ型 :(1~120x ? 4.67 x 3.5 ~ 0.039 x 0.029 mm) ?A型: (0.35~3.5x ? 13.3 x 10 ~ 1.33 x 1 mm) |
自動對焦 | 激光自動對焦(A型是選配)、圖像自動對焦 |
燈光* | ?1~4型: 同軸表面光、底部透射光、8個扇面的環形光 (全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3種角度、4型1種角度) ?TZ型: 同軸表面光、底部光(VMZ-S3020的低倍除外)、暗場照明 ?A型: 同軸表面光、底部光、8個扇面的環形光 (全部采用白色LED光源/1種角度) |
電源規格 / 額定電流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A |
尺寸 (W×D×H/重量) | 本體+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 約265 kg 控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 約12 kg |
占地大小(W×D) | 2700 × 2400 mm |
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