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Transpector MPH 殘余氣體分析儀

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功能

  • 大模擬掃描和選定峰值的數據速率為每點 1.8 ms
  • TCP/IP 以太網連接
  • 雙絲極
  • 可現場更換電子倍增器
  • 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數量級的動態量程
  • <2e-15 torr="" 的="" mdpp（100="">
  • 信噪比更高
  • 可調換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

規格

類型 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
傳感器長度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質量范圍 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
檢測器類型 FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
靈敏度 (FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
小可檢測分壓 (4) 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
傳感器工作溫度(FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
傳感器工作溫度(EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
絲極類型選件 (1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
絲極類型選件 (2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率（整個質量范圍內） <1 amu="" wide=""> <1 amu="" wide=""> <1 amu="" wide=""> <1 amu="" wide=""> <1 amu="" wide=""> <1 amu="" wide="">
溫度系數 <1% of="" peak=""> <1% of="" peak=""> <1% of="" peak=""> <1% of="" peak=""> <1% of="" peak=""> <1% of="" peak="">
每點數據率 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
零沖擊（@ 質量 2） <5> <5> <65> <65> <100> <100>
大工作壓力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度 300 300 300 300 300 300
功率輸入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 用于一般應用

(2) 用于鹵素環境應用

(3) 在峰高的 10％ 處

(4) 4 秒的停留時間

附件

MPH100F
零件號 明細
961-021-G1 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭
961-021-G2 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G3 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 30 ft (9m) 延長電纜
961-021-G4 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭
961-021-G5 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G6 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 30 ft (9m) 延長電纜
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長電纜 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 電源延長電纜 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太網路由器，帶有 Wi-Fi 按鈕
961-418-G1 8 端口以太網交換機
961-702-G1 Pirani 聯鎖套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V(DC)（包括加熱器）
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH100M
零件號 明細
961-021-G1 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭
961-021-G2 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G3 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 30 ft (9m) 延長電纜
961-021-G4 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭
961-021-G5 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G6 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 30 ft (9m) 延長電纜
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長電纜 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 電源延長電纜 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太網路由器，帶有 Wi-Fi 按鈕
961-418-G1 8 端口以太網交換機
961-702-G1 Pirani 聯鎖套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V(DC)（包括加熱器）
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200F
零件號 明細
961-021-G1 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭
961-021-G2 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G3 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 30 ft (9m) 延長電纜
961-021-G4 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭
961-021-G5 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G6 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 30 ft (9m) 延長電纜
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長電纜 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 電源延長電纜 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太網路由器，帶有 Wi-Fi 按鈕
961-418-G1 8 端口以太網交換機
961-702-G1 Pirani 聯鎖套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V(DC)（包括加熱器）
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200M
零件號 明細
961-021-G1 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭
961-021-G2 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G3 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 30 ft (9m) 延長電纜
961-021-G4 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭
961-021-G5 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G6 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 30 ft (9m) 延長電纜
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長電纜 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 電源延長電纜 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太網路由器，帶有 Wi-Fi 按鈕
961-418-G1 8 端口以太網交換機
961-702-G1 Pirani 聯鎖套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V(DC)（包括加熱器）
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300F
零件號 明細
961-021-G1 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭
961-417-G1 4 端口以太網路由器，帶有 Wi-Fi 按鈕
961-021-G2 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G3 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 30 ft (9m) 延長電纜
961-021-G4 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭
961-021-G5 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G6 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 30 ft (9m) 延長電纜
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長電纜 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 電源延長電纜 - 30 ft (9m)
961-418-G1 8 端口以太網交換機
961-702-G1 Pirani 聯鎖套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V(DC)（包括加熱器）
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300M
零件號 明細
961-021-G1 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插頭
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
961-021-G2 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G3 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插頭，帶 30 ft (9m) 延長電纜
961-021-G4 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭
961-021-G5 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 15 ft (4.5m) 延長電纜
961-021-G6 MPH 電源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插頭，帶有 30 ft (9m) 延長電纜
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長電纜 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1 電源延長電纜 - 30 ft (9m)
961-417-G1 4 端口以太網路由器，帶有 Wi-Fi 按鈕
961-418-G1 8 端口以太網交換機
961-702-G1 Pirani 聯鎖套件
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V(DC)（包括加熱器）
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V

備件

MPH100F
零件號 明細
961-H1FAS MPH 傳感器，100 AMU FC (MPH100F)，帶有 Y2O3/Ir 絲
961-H1FBS MPH 傳感器，100 AMU FC (MPH100F)，帶有鎢絲
MP-H10S MPH 電子盒，100 AMU FC 或 EM/FC（MPH100F、MPH100M），帶有以太網
961-700-G1 鍍銥絲套件
961-700-G2 鎢絲套件
961-701-G1 鍍依絲離子源
961-701-G2 鎢絲離子源
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延長套件
961-022-G1 備用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 氣體分析產品手冊 CD
MPH100M
零件號 明細
961-H1MAS MPH 傳感器，100 AMU EM/FC (MPH100M)，帶有 Y2O3/Ir 絲
961-H1MBS MPH 傳感器，100 AMU EM/FC (MPH100M)，帶有鎢絲
MP-H10S MPH 電子盒，100 AMU FC 或 EM/FC（MPH100F、MPH100M），帶有以太網
961-700-G1 鍍銥絲套件
961-700-G2 鎢絲套件
961-701-G1 鍍依絲離子源
961-701-G2 鎢絲離子源
961-2428-G2 電子倍增器更換套件
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延長套件
961-205-G2 MPH HPR 延長套件
961-022-G1 備用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 氣體分析產品手冊 CD
MPH200F
零件號 明細
961-H2FAS MPH 傳感器，200 AMU FC (MPH200F)，帶有 Y2O3/Ir 絲
961-H2FBS MPH 傳感器，200 AMU FC (MPH200F)，帶有鎢絲
MP-H20S MPH 電子盒，200 AMU FC 或 EM/FC（MPH200F、MPH200M），帶有以太網
961-700-G1 鍍銥絲套件
961-700-G2 鎢絲套件
961-701-G1 鍍依絲離子源
961-701-G2 鎢絲離子源
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延長套件
961-022-G1 備用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 氣體分析產品手冊 CD
MPH200M
零件號 明細
961-H2MAS MPH 傳感器，200 AMU EM/FC (MPH200M)，帶有 Y2O3/Ir 絲
961-H2MBS MPH 傳感器，200 AMU EM/FC (MPH200M)，帶有鎢絲
MP-H20S MPH 電子盒，200 AMU FC 或 EM/FC（MPH200F、MPH200M），帶有以太網
961-700-G1 鍍銥絲套件
961-700-G2 鎢絲套件
961-701-G1 鍍依絲離子源
961-701-G2 鎢絲離子源
961-2428-G2 電子倍增器更換套件
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延長套件
961-205-G2 MPH HPR 延長套件
961-022-G1 備用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 氣體分析產品手冊 CD
MPH300F
零件號 明細
961-H3FAS MPH 傳感器，300 AMU FC (MPH300F)，帶有 Y2O3/Ir 絲
961-H3FBS MPH 傳感器，300 AMU FC (MPH300F)，帶有鎢絲
MP-H30S MPH 電子盒，300 AMU FC 或 EM/FC（MPH300F、MPH300M），帶有以太網
961-700-G1 鍍銥絲套件
961-700-G2 鎢絲套件
961-701-G1 鍍依絲離子源
961-701-G2 鎢絲離子源
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延長套件
961-022-G1 備用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1 氣體分析產品手冊 CD
MPH300M
零件號 明細
961-H3MAS MPH 傳感器，300 AMU EM/FC (MPH300M)，帶有 Y2O3/Ir 絲
961-H3MBS MPH 傳感器，300 AMU EM/FC (MPH300M)，帶有鎢絲
MP-H30S MPH 電子盒，300 AMU FC 或 EM/FC（MPH300F、MPH300M），帶有以太網
961-700-G1 鍍銥絲套件
961-700-G2 鎢絲套件
961-701-G1 鍍依絲離子源
961-701-G2 鎢絲離子源
961-2428-G2 電子倍增器更換套件
961-416-P1 備用 MPH 加熱套
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH 延長套件
961-205-G2 MPH HPR 延長套件
961-022-G1 備用 O 形密封圈和螺母套件
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