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Transpector MPS 殘余氣體分析儀

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  • 概述
  • 規格
  • 下載

功能

  • 雙絲極
  • 可現場更換電子倍增器
  • 現場可更換的陽極、陰極和反射極絲組件
  • 可調換傳感器和電子元件
  • TCP/IP 以太網連接
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數量級的動態量程
  • 大模擬掃描和選定峰值的數據速率為每點 3 ms
  • <1.5e-14 torr="" 的="">
  • 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

規格

類型 MPS100F MPS100M MPS200F MPS200M
傳感器長度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質量范圍 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
檢測器類型 FC EM FC EM
靈敏度 (FC) 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
靈敏度 (EM) NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
小可檢測分壓 (3) 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
傳感器工作溫度(FC) 200 °C NA 200 °C NA
傳感器工作溫度(EM) NA 150 °C NA 150 °C
絲極類型選件 Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1) <1 amu=""> <1 amu=""> <1 amu=""> <1 amu="">
溫度系數 (2) <1% per=""> <1% per=""> <1% per=""> <1% per="">
每點數據率 3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零沖擊（@ 質量 2） <100> <100> <100> <100>
大工作壓力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度 300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率輸入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 在峰高的 10％ 處

(2) 在八小時內，預熱時間為半小時；僅在FC模式下

(3) 256 毫秒停留時間

手冊

  • Brochure - Transpector MPH & Transpector MPS Combined.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

其他文件

  • STC Product Line Card 2014.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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