橢圓率計 (測量膜厚 多層膜解析 測量光彈性) M-series
▼概要
日日本分光制的橢圓計配有日本分光產的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式,實現高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測量,所以主要用于向高集積化和高精細化發展的半導體及高機能光學薄膜等材料的評價。
◆規格
▼M-210/220/230/240/550/ELC-300
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