儀器簡介：手動橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率；手動調節測試過程中的起偏和檢偏角度
儀器簡介：
手動橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率；手動調節測試過程中的起偏和檢偏角度。橢圓偏振法廣泛地應用于固體基片上介質薄膜的測量。在己有測定薄膜厚度的方法中，它是能測量到和精度的一類。
實驗內容：
1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能
2、掌握如何利用設備測試樣品的方法
主要配置和參數：
序號 | 名稱 | 規格和參數 |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量最小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°-90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數范圍 | 0°-180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標最小讀數 | 0.05° |
7 | 光學中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | Φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm*230mm*290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |
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