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LCL-5A 自動橢圓偏振測厚儀

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儀器簡介:橢圓偏振光譜技術是近年來隨著現代科技的發展而迅速發展起來的光學無損檢測方法,在材料、信息、化學、物理、生命科學等領域具有廣泛的應用前景

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儀器簡介:

    橢圓偏振光譜技術是近年來隨著現代科技的發展而迅速發展起來的光學無損檢測方法,在材料、信息、化學、物理、生命科學等領域具有廣泛的應用前景。它已越來越多的用于介電、半導體、金屬、有機物等各種材料的光學特性、結構特征、生長過程和材料質量的快速測試與研究。儀器采用消光式橢圓偏振方式測量,精度高、自動控制,光源采用氦氖激光,波長精度高,儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對采樣數據具有多種處理方式,適用于不同需要,軟件有完整版及學生版兩種版本,適于教學要求。



實驗內容:

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2、掌握如何利用設備測試樣品的方法



主要配置和參數:

序號

名稱

規格和參數

1

測量范圍

1nm-4000nm

2

測量最小值

≤1nm

3

鍍膜折射率范圍

1.300-10.000

4

入射角

40°-90°誤差≤0.05°

5

偏振器方位角讀數范圍

0°-180°

6

偏振器步進角

0.0375°/步

7

測量精度

±0.5nm(10nm,±0.5nm)

8

光學中心高度

75mm

9

工作臺直徑

Φ10mm-Φ120mm

10

厚度

≤10mm









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