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日立 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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產(chǎn)品介紹 現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列_看圖王.web.jpg


產(chǎn)品介紹:


       現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。


       "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。


       通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。


       此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。


       Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。


*1   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品特點:


  • 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2


*2   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品規(guī)格:



項目

Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm
(加速電壓15 kV)
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
0.8 nm
(著陸電壓1 kV)*3
著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4

樣品臺控制3軸馬達臺(可選5軸馬達臺)5軸馬達驅(qū)動

X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再現(xiàn)性---±0.5 µm以下含
±0.5 µm


*3      減速模式下觀察


*4      以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率





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