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HCS621GXY實驗室設備

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HCS621GXY專為顯微鏡/光譜儀設計。此款冷熱臺可在 -190℃ ~ 600℃ 范圍內控溫,同時允許光學觀察和樣品氣體環境控制。熱臺上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。

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產品簡介

HCS621GXY專為顯微鏡/光譜儀設計。此款冷熱臺可在 -190℃ ~ 600℃ 范圍內控溫,同時允許光學觀察和樣品氣體環境控制。熱臺上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。


溫控參數


溫度范圍

-190℃ ~ 600℃(負溫需配液氮制冷系統)

加熱塊材質

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD / PID控制

Z大加熱/制冷速度

+150℃/min (100℃時)

-50℃/min (100℃時)

Z小加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃

溫度穩定性

±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃)

軟件功能

可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線



光學參數

適用光路

透射光路 和 反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

Z小物鏡工作距離

5 mm  *截面圖中WD

Z小聚光鏡工作距離

11.5 mm  *截面圖中CWD

透光孔

φ2 mm  *截面圖中φVA

上蓋窗片觀察

窗片范圍φ18mm,Z大視角±58°  *截面圖中θ1

底部窗片觀察

窗片范圍φ18mm,Z大視角±19°  *截面圖中θ2

負溫下窗片除霜

吹氣除霜管路


結構參數

加熱區/樣品區

?26 mm

*使用XY移動尺時樣品區由樣品襯底決定

樣品腔高

2.5 mm

*樣品Z大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度

樣品襯底

默認為石英坩堝(內徑>9mm/厚0.5mm)

*可根據用戶使用需求更換為其他

放樣

水平抽出上蓋后置入樣品

樣品XY移動尺

可從密封腔外移動樣品,分辨率10μm,行程10mm

氣氛控制

氣密腔,可充入保護氣體

外殼冷卻

可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式

水平安裝 或 垂直安裝

臺體尺寸/重量

159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g


配置列表

基本配置

HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器

可選配件

冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統   、外殼循環水冷系統、、

真空系統(僅用于真空型號)


功能特點

適用于 顯微鏡/光譜儀

-190℃~600℃ 可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統)

直徑26 mm帶通光孔的加熱區

在XY方向移動樣品的微分移動尺

可充入保護氣體的氣密腔(另有真空腔型號)

可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK

*可做定制或改動,詳詢蘇州卡斯圖



溫控配件系列

用于Instec溫控裝置


適用范圍

用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。


溫控配件系列

安裝支架:用于將溫控裝置固定在用戶設備上

mK2000B溫控器,含InstecAPP溫控軟件,溫控裝置必選

LN2-SYS液氮制冷系統:液氮泵+液氮罐+液氮管線

外殼循環水冷系統,帕爾貼式溫控裝置必選

MITO系列溫控聯用顯微鏡相機,含控制軟件

LWDC2長工作距離聚光鏡

真空系統:包括真空泵+真空管路,用于真空型溫控裝置


LN2-SYS液氮制冷系統

主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間,溫控裝置加熱塊內埋有封閉式進出管路,液氮泵受mK2000B控制進行抽氣,把液氮從液氮罐內吸到溫控裝置的加熱塊中,實現溫控裝置主動降溫。



外殼循環水冷系統

用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時,外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼,危害周遭人員設備及設備自身。用循環水讓外殼溫度保持在常溫附近,可以預防此災害。


mK2000B溫控器

支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨立的多段PID控制、可保存4套20段校準表等特點。可獨立控制,也可從InstecAPP軟件控制。


溫度分辨率

±0.001℃ (熱敏電阻),±0.01℃ (RTD),±0.1℃ (熱電偶)

控制接口

USB虛擬串口 可選其他接口

可選項

LVDC線性可調直流電源,用于降低電噪音

溫控軟件

InstecAPP,可提供多語言SDK



安裝支架

針對用戶設備定制,可讓熱臺水平固定/垂直固定等,垂直光路/水平光路等的用戶設備皆可適用。通常有:

圓環式(用于圓形載物臺),平板式(用于方形載物臺)、

載物臺式(用于代替設備載物臺)、立式(用于水平光路)。




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