HCS621GXY專為顯微鏡/光譜儀設計。此款冷熱臺可在 -190℃ ~ 600℃ 范圍內控溫,同時允許光學觀察和樣品氣體環境控制。熱臺上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。
產品簡介
HCS621GXY專為顯微鏡/光譜儀設計。此款冷熱臺可在 -190℃ ~ 600℃ 范圍內控溫,同時允許光學觀察和樣品氣體環境控制。熱臺上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。
溫控參數
溫度范圍 | -190℃ ~ 600℃(負溫需配液氮制冷系統) |
加熱塊材質 | 銀 |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制 |
Z大加熱/制冷速度 | +150℃/min (100℃時) -50℃/min (100℃時) |
Z小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ |
溫度穩定性 | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
軟件功能 | 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線 |
光學參數
適用光路 | 透射光路 和 反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
Z小物鏡工作距離 | 5 mm *截面圖中WD |
Z小聚光鏡工作距離 | 11.5 mm *截面圖中CWD |
透光孔 | φ2 mm *截面圖中φVA |
上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm,Z大視角±58° *截面圖中θ1 |
底部窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm,Z大視角±19° *截面圖中θ2 |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數
加熱區/樣品區 | ?26 mm *使用XY移動尺時樣品區由樣品襯底決定 |
樣品腔高 | 2.5 mm *樣品Z大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
樣品襯底 | 默認為石英坩堝(內徑>9mm/厚0.5mm) *可根據用戶使用需求更換為其他 |
放樣 | 水平抽出上蓋后置入樣品 |
樣品XY移動尺 | 可從密封腔外移動樣品,分辨率10μm,行程10mm |
氣氛控制 | 氣密腔,可充入保護氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近 |
安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
臺體尺寸/重量 | 159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g |
配置列表
基本配置 | HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器 |
可選配件 | 冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統 、外殼循環水冷系統、、 真空系統(僅用于真空型號) |
功能特點
適用于 顯微鏡/光譜儀 |
-190℃~600℃ 可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統) |
直徑26 mm帶通光孔的加熱區 |
在XY方向移動樣品的微分移動尺 |
可充入保護氣體的氣密腔(另有真空腔型號) |
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK |
*可做定制或改動,詳詢蘇州卡斯圖 |
溫控配件系列
用于Instec溫控裝置
適用范圍
用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列
安裝支架:用于將溫控裝置固定在用戶設備上 |
mK2000B溫控器,含InstecAPP溫控軟件,溫控裝置必選 |
LN2-SYS液氮制冷系統:液氮泵+液氮罐+液氮管線 |
外殼循環水冷系統,帕爾貼式溫控裝置必選 |
MITO系列溫控聯用顯微鏡相機,含控制軟件 |
LWDC2長工作距離聚光鏡 |
真空系統:包括真空泵+真空管路,用于真空型溫控裝置 |
LN2-SYS液氮制冷系統
主要分為液氮泵和液氮罐兩部分。使用時需用管路將溫控裝置串接在液氮罐和液氮泵之間,溫控裝置加熱塊內埋有封閉式進出管路,液氮泵受mK2000B控制進行抽氣,把液氮從液氮罐內吸到溫控裝置的加熱塊中,實現溫控裝置主動降溫。
外殼循環水冷系統
用于溫控裝置的外殼/底座的冷卻。溫控裝置加熱/制冷時,外殼/底座溫度會被帶得很燙/很涼,危害周遭人員設備及設備自身。用循環水讓外殼溫度保持在常溫附近,可以預防此災害。
mK2000B溫控器
支持恒溫、恒速率變溫、暫停、編程溫控功能。具有冷熱獨立的多段PID控制、可保存4套20段校準表等特點。可獨立控制,也可從InstecAPP軟件控制。
溫度分辨率 | ±0.001℃ (熱敏電阻),±0.01℃ (RTD),±0.1℃ (熱電偶) |
控制接口 | USB虛擬串口 可選其他接口 |
可選項 | LVDC線性可調直流電源,用于降低電噪音 |
溫控軟件 | InstecAPP,可提供多語言SDK |
安裝支架
針對用戶設備定制,可讓熱臺水平固定/垂直固定等,垂直光路/水平光路等的用戶設備皆可適用。通常有:
圓環式(用于圓形載物臺),平板式(用于方形載物臺)、
載物臺式(用于代替設備載物臺)、立式(用于水平光路)。
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