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高性能聚焦離子束系統 MI4050

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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統:新型電子光學系統,可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察,高品質TEM樣品制備,電路修復,Vector Scan加工,微納米級微細圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。

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概述
產品參數

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統:新型電子光學系統,可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察,高品質TEM樣品制備,電路修復,Vector Scan加工,微納米級微細圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。


產品參數
項目內容
樣品尺寸50mm×50mm×12mm(t)以下
樣品臺5軸電動機械優中心馬達臺
加速電壓1~30kV (0.5kV~ 選配)
(0.5~1.0kV : 步長0.1kV)
(1.0~2.0kV : 步長0.2kV)
二次電子分辨率4nm@30kV
探針電流90nA
探針電流密度50A/cm2



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