MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統:新型電子光學系統,可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察,高品質TEM樣品制備,電路修復,Vector Scan加工,微納米級微細圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統:新型電子光學系統,可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察,高品質TEM樣品制備,電路修復,Vector Scan加工,微納米級微細圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。
項目 | 內容 |
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樣品尺寸 | 50mm×50mm×12mm(t)以下 |
樣品臺 | 5軸電動機械優中心馬達臺 |
加速電壓 | 1~30kV (0.5kV~ 選配) (0.5~1.0kV : 步長0.1kV) (1.0~2.0kV : 步長0.2kV) |
二次電子分辨率 | 4nm@30kV |
探針電流 | 90nA |
探針電流密度 | 50A/cm2 |
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