產(chǎn)品概要

H12探針臺(tái)具有優(yōu)異的機(jī)械性能和的測試功能，其卡盤移動(dòng)技術(shù)，可滿足客戶對(duì)整片晶圓高效測試的需求；同時(shí)基于UPStart™模塊化開放式設(shè)計(jì)，H系列可搭配不同的套件實(shí)現(xiàn)更寬泛的測試功能，H系列6" 8" 12"探針臺(tái)非常適合研發(fā)類實(shí)驗(yàn)室的一次性預(yù)算購置。

基本信息

應(yīng)用方向

DC 直流/（IV、CV）測試、低電流（100fA 級(jí)）測試、1/f 噪聲測試、FA 失效分析測試、器件表征測試、WLR 可靠性、老化測試、RF 射頻測試、大功率/大電流及/大電壓測試等。

技術(shù)特點(diǎn)

• 氣控式卡盤移動(dòng)技術(shù)（Chuck Air bearing move)

氣控式移動(dòng)平臺(tái)具備快速移動(dòng)卡盤功能，滿足高效手動(dòng)測試需要。通過對(duì)應(yīng)的氣浮開關(guān)，提供3種快速移動(dòng)方式：單手控制X/Y方向快速移動(dòng)，雙手控制樣品臺(tái)全平面快速移動(dòng)。傳統(tǒng)的滾珠/軸承式樣品臺(tái)僅能實(shí)現(xiàn)X/Y軸單向運(yùn)動(dòng)，而且移動(dòng)速度較慢；普通的氣浮式樣品臺(tái)雖然能夠?qū)崿F(xiàn)樣品臺(tái)全平面快速移動(dòng)，卻不能實(shí)現(xiàn)X/Y軸單向精準(zhǔn)移動(dòng)定位，滿足生產(chǎn)實(shí)測需要。而3重氣控式樣品臺(tái)的結(jié)合并實(shí)現(xiàn)了以上兩種功能。

• 顯微鏡氣控式升降調(diào)節(jié)

顯微鏡采用氣控式調(diào)節(jié)可實(shí)現(xiàn)50mm升降，通過高品質(zhì)閥門控制，高壓空氣進(jìn)出節(jié)流精細(xì)調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)顯微鏡平穩(wěn)的升降，實(shí)現(xiàn)方便更換物鏡的同時(shí)，更好的防護(hù)物鏡與夾具在測試中的意外接觸損傷。

• 三段式升降針座平臺(tái)

針座平臺(tái)升降：快速（0，300um,3mm）+微調(diào)(40mm,移動(dòng)分辨率2~5um)，Platen所有部分能夠同時(shí)升降（不存在不同時(shí)的現(xiàn)象），升起回落后探針在pad上針痕的x,y,z三個(gè)方向的重復(fù)性優(yōu)于±1um，可重復(fù)（1μm）的針座平臺(tái)有三個(gè)離散位置，用于接觸，分離（300μm）和裝載（3mm），并帶有安全鎖裝置，可防止探頭或晶圓意外損壞的同時(shí)，提供直觀的控制和準(zhǔn)確的接觸定位，實(shí)現(xiàn)最準(zhǔn)確的測量效果，該功能在高頻與大功率測試中至為重要。

• 氣浮式自動(dòng)平衡防震桌

臺(tái)面采用10CR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼加工的蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)。防震系統(tǒng)采用進(jìn)口韓國大一公司的空氣彈簧式支撐架的防震平臺(tái)。通過空氣彈簧的形狀、材質(zhì)、彈簧室的容積及補(bǔ)助罐容積、阻尼孔徑和水平調(diào)節(jié)閥等一系列減震設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)垂直本征頻率為1.5Hz，水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率，承重達(dá)400Kg的優(yōu)異承載能力。從而有效避免細(xì)微低頻率頻帶的振動(dòng)給測試帶來的不利影響。

• 大手柄微分頭驅(qū)動(dòng)

卡盤移動(dòng)平臺(tái)配有粗調(diào)與精調(diào)功能，精調(diào)旋鈕采用業(yè)界的日本Mitutoyo大手柄驅(qū)動(dòng)微分頭，相比于傳統(tǒng)的小型微分頭調(diào)節(jié)，操作手感更舒適、調(diào)節(jié)更順暢且無回程差，真正實(shí)現(xiàn)超順滑的手動(dòng)高效測試，全面提升測試效率，節(jié)約客戶測試成本。

• 可加載激光器

多波段激光切割系統(tǒng)能夠加載在絕大多數(shù)應(yīng)用于失效分析的顯微鏡上，可以實(shí)現(xiàn)微觀層面的精確切割和選擇性材質(zhì)去除。精密可靠的激光傳輸系統(tǒng)(ABDS)可以選擇不同波段應(yīng)對(duì)不同材料裁剪和切割工作。鐳射輸出能量≥2.7mJ,能量可調(diào)整級(jí)數(shù)≥300。水循環(huán)冷卻結(jié)構(gòu)使系統(tǒng)更小巧和方便維護(hù)。