產(chǎn)品概要
CG高低溫真空探針臺(tái)是SEMISHARE多年來(lái)技術(shù)積累的創(chuàng)新成果，同時(shí)SEMISHARE也是國(guó)內(nèi)自主研發(fā)推出的高低溫真空探針臺(tái)，CG高低溫真空探針臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)樣品在真空高低溫環(huán)境下的精確電性、光強(qiáng)、波長(zhǎng)、磁場(chǎng)等測(cè)試。2016年，SEMISHARE參與由哈工大和共建的“空間環(huán)境地面模擬裝置”部分技術(shù)設(shè)計(jì)項(xiàng)目，其在超低溫，超高真空，自動(dòng)控制，激光模擬方面發(fā)揮著的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。
基本信息
| 產(chǎn)品型號(hào) | SCG-O-4 | 工作環(huán)境 | 高低溫真空環(huán)境 |
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | 操控方式 | 手動(dòng)探針臺(tái) |
| 產(chǎn)品尺寸 | 1100*1100*530mm | 設(shè)備重量 | 約190KG |
應(yīng)用方向
CG高低溫真空探針臺(tái)在高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試、LD/LED/PD測(cè)試、光纖光譜特性測(cè)試、材料/器件的IV/CV特性測(cè)試、霍爾測(cè)試、電磁輸運(yùn)特性、高頻特性測(cè)試等。
技術(shù)特點(diǎn)
真空腔體
真空腔體采用外腔和屏蔽腔雙腔體結(jié)構(gòu)，為樣品測(cè)試提供極限壓力為10-4Pa的真空環(huán)境。低溫測(cè)試時(shí)，避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結(jié)成露水，從而避免漏電過(guò)大或探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。同時(shí)，由于真空絕熱作用可是有效的提供制冷效率。高溫測(cè)試時(shí)，避免了空氣中的氧氣氧化樣品，從而避免樣品電性誤差、物理和機(jī)械上的形變。
探針臂XYZ調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
探針臂XYZ調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)采用了自鎖絲杠和交叉滾子導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了探針定位精確為10um，探針漂移量?jī)?yōu)于±60nm/30mins的高精度點(diǎn)針。同時(shí)，采用三軸管狀?yuàn)A具和高屏蔽功能的三軸線纜，從而實(shí)現(xiàn)測(cè)試漏電精度達(dá)50FA。
探針熱沉設(shè)計(jì)，定位更精準(zhǔn)
SEMISHARE直流探針臂均配有兩次熱沉設(shè)計(jì)，次探針臂熱沉在防輻射屏上、第二次探針通過(guò)陶瓷夾具熱沉在樣品臺(tái)上。SEMISHARE的熱沉設(shè)計(jì)能夠有效的降低探針臂與測(cè)試器件的溫差，提高了測(cè)試數(shù)據(jù)的精確性。
顯微鏡調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
顯微鏡調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)通過(guò)調(diào)節(jié)支撐架的伸縮、高低以及顯微鏡自帶調(diào)節(jié)座，可觀測(cè)樣品任意區(qū)域。20倍目鏡和0.8倍-5倍的物鏡變焦倍率，從而實(shí)現(xiàn)樣品16X-100X的放大倍率。
制冷劑流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)
制冷劑調(diào)節(jié)系統(tǒng)由杜瓦罐、壓縮氮?dú)鈮毫刂崎y及精密調(diào)節(jié)的針閥組成。控制低溫時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)壓縮氮?dú)鈮毫刂崎y來(lái)調(diào)節(jié)杜瓦罐中的壓力，從而控制制冷劑流出的壓力，繼而調(diào)節(jié)制冷劑的流量；通過(guò)調(diào)節(jié)精密針閥進(jìn)而精密控制制冷的流量，最終實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的低溫控溫功能。
制冷劑同軸回路
制冷劑同軸回路使制冷劑從中間進(jìn)入管路進(jìn)入樣品臺(tái)，流經(jīng)屏蔽腔底板腔室，在回流至同軸回路外層回流管中，最后通過(guò)排氣口排放到室外。制冷劑同軸回路使得制冷劑在排出的過(guò)程中加以利用，營(yíng)造相對(duì)室溫低很多的環(huán)境，抑制了進(jìn)入樣品臺(tái)的制冷劑的提前消耗，從而提高制冷劑的制冷效率，較少制冷劑的消耗。
防震平臺(tái)
防震系統(tǒng)采用進(jìn)口韓國(guó)大一公司的空氣彈簧式支撐架的防震平臺(tái)。通過(guò)空氣彈簧的形狀、材質(zhì)、彈簧室的容積及補(bǔ)助罐容積、阻尼孔徑和水平調(diào)節(jié)閥等一系列減震設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)垂直本征頻率為1.5Hz，水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率，承重達(dá)400Kg的優(yōu)異承載能力。從而有效避免細(xì)微低頻率頻帶的振動(dòng)給測(cè)試帶來(lái)的不利影響。
| 型號(hào) | SCG-O-2 | SCG-O-4 | SCG-C-2 |
| 外形 | 900*900*530mm | 1100*1100*530mm | 1100*1100*1030mm |
| 重量 | 約170KG | 約190KG | 約290KG |
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ |
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 |
| 樣品臺(tái)移動(dòng) | 固定的樣品臺(tái) |
| 真空度 | 10^-10torr真空 |
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
| 放大倍數(shù) | 變焦：7:1分辨率4μm (放大倍數(shù)216X)或者選用金像顯微鏡（20X~1000X） |
| 真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch |
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） |
| 溫控規(guī)格 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷壓縮機(jī) |
| 控制方式 | 開(kāi)循環(huán)手動(dòng)/自動(dòng)冷媒流量控制 | 閉循環(huán)自動(dòng)控制 |
| 控溫范圍 | 77K~450K/4.2K~450K | 4.2K~450K |
| 控溫分辨率 | 0.001K |
| 溫度穩(wěn)定性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K |
| 373K ±0.08K 473K ±0.1K |
| 823K ±0.2K(可選） 973K ±1.0K(可選） |
| 常溫到8K冷卻時(shí)間 | 90min | 150min |
| 8K到常溫升溫時(shí)間 | 90min | 90min |
| 常溫開(kāi)始的升溫時(shí)間 | 100℃ 150℃ 200℃ |
| 30min 50min 80min |
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 |
| 傳感器 | 硅二極管 |
| 傳感器數(shù)量 | 樣品臺(tái)，防輻射屏，探針臂各一個(gè) |
| 功率 | 50W/100W/500W/1000W |
| 點(diǎn)針規(guī)格 | 探針數(shù)量 | 2個(gè)/4個(gè)/6個(gè) |
| 探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制 |
| 點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 |
| X-Y-Z行程 | 25mm-25mm-25mm |
| 漏電精度 | 10pA/100fA |
| 接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 |
| 可選附件 | 防震桌 |
| 多級(jí)壓縮制冷機(jī) |
| 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵 |
| 射頻部件 |
| Chuck運(yùn)動(dòng)裝置 |
| 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng) |
| 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí) |
| 超高溫升級(jí)選件 |
| 超高真空升級(jí)選件 |
| 客戶特殊定制 |
| 應(yīng)用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等 |
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| 特點(diǎn) |
| 可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2K~450K） | 可升級(jí)加載磁場(chǎng) |
| 防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好 | 支持光纖光譜特性測(cè)試 |
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) | 器件的高頻特性(支持67GHz頻率) |
| 探針熱沉設(shè)計(jì) | LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試 |
| 自動(dòng)流量控制 | 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試 |
