接觸角/表面張力/自由能測量儀 德國OEG生產的半導體行業專業的SURFTENS系列測量儀，含手動、自動。 能夠精準測量接觸角/表面張力/自由能。 晶圓尺寸可達300mm。 適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控、控制晶圓的涂層和光刻工藝、檢查硅晶圓表面潤濕能力，客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能，生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室的要求。
| 型號 | SURFTENS universal （通用型） | SURFTENS HL （專業晶圓檢測） | SURFTENS Automatic （工業型） | SURFTENS WH30 （工業型） |
| 手動/自動 | 手動 | 手動 | 自動 | 自動 |
| 測量臺 | 標準支承面100mm× 100mm（可拓展），高度可調（50mm） | 適用于200mm或300mm晶圓的可選，樣品最厚5mm | 標準測量區域200× 200mm。適用大平面（如液晶玻璃基板，8-12 英寸英寸的晶圓等）樣品厚度5mm，可全自動高精度定位 | 3軸晶圓裝載機械臂，適用于直徑200mm和300mm晶圓；200mm晶圓裝載系統或300mm前開式晶圓送盒；激光晶圓掃描器；真空吸盤系統；開槽系統 |
| 滴液系統 | 手動滴液，高度可調，可升級雙注射器、自動滴液系統，添加電極驅 | 動和軟件控制功能，用戶可自定義滴液量 | 自動滴液（電機驅動），軟件控制單次劑量 | 與Automatic類似，全自動馬達，可通過編程控制液體精準定位在晶圓上的滴點位置與滴液過程
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| 光學系統 | 顯微物鏡0.8x（可升級1.6x/3.2x），光學傾角可調（0-6°） | 1倍固定放大倍率，電機驅動對焦，光學儀器傾角1° | 固定放大倍率，電機驅動對焦，光學儀器傾角1°。高分辨率CCD相機，440,000像素 | 附帶光學系統，高分辨率CCD相機，440,000像素 |
| 圖像采集系統 | USB2.0相機（黑/白，130萬像素，可升級500萬像素和模擬攝像機） | 高分辨率CCD相機，440,000像素 | ||
| 光照單元 | 長壽命高能LED燈，亮度可調 | 長壽命平板燈，亮度可調 | 長壽命平板燈，亮度可調 | 長壽命平板燈，亮度可調 |
| 擴展組件 | 傾斜裝置（手動，傾斜角90°，分辨率1°）；接觸角測量基板（一種通過使用光刻工藝顯示接觸角照片，用于核查測量儀器精度玻璃基板）；恒溫箱（軟件控制，可以在高達80°進行接觸角測量）。 | 傾斜裝置、接觸角測量基板、恒溫箱等 | - | 電熱板（清除表面遺留滴液）；風機FFU（空氣過濾） |
| 控制軟件 | 主要根據滴液法，可通過不同水滴形狀的擬合方法全自動測量水滴的 接觸角，可手動設置基準，手動測量接觸角，從兩種已知測量液體計 算測量接觸角固體的表面自由能。 |
主要根據座滴法，并依據不同的擬合方程（球形、 多項式），來實現液體與固體表面接觸角的全自動測量。滴液落在晶圓表面后，被軟件自動識別 用戶還能通過操縱桿調整，并手動定義基線。 | 軟件內含評估模塊（Wu氏理論），通過兩種已知的測量液體來計算固體的表面自由能。軟件可通過掃描接口獲得所有圖像，可自動計算的縮放比例。圖片文件可以BMP格式、JPEG格式等復制、讀取、儲存和打印。實時顯示接觸角的圖像（可選）；測量前進和后退接觸角（可選）全自動檢測隨時間變化的接觸角，時間間隔自由設定，最小50ms，在圖表顯示（可選）；同時測量左右接觸角，并計算中值（可選） | 內含評估模塊（Wu氏/OWRK理論），且測量系統提供液體數據庫，可供不同液體間測量比對，通過測量兩種不同液體的接觸角，計算被測晶硅的表面自由能。配高性能視頻數字化板（圖像采集卡），測量數據存儲搭建網絡服務器進行數據傳輸、備份和存儲。軟件能自動識別裝載端口、插槽分配情況，可區分不同尺寸的硅晶圓片并自動分配，在測量前自動開槽。 提供3種用戶級別選擇，可定制 |
| 軟件功能拓展 | 軟件內含評估模塊（Wu氏/OWRK理論），能夠提供固體表面和5種以下液體的接觸角測量，并進行表面自由能計算；軟件還能實時視頻錄像，以AVI格式保存；最后檢測的結果也可以保存為一個記錄文檔或者視頻圖像。 軟件功能拓展實時視頻圖像顯示當前接觸角；設定檢測時間間隔，并測量與時間相關的接觸角情況，顯示在圖表上（時間間隔自由設定，最小50ms）；在實時圖像上測量前進和后退接觸角；同時測量左右兩邊的接觸角，并計算中值；測量滴液期間和滴液后液體體積。 | 控制器：3軸步進電機控制器，可進行微小步距操作，控制樣品在X/Y軸方向定位，控制滴液針頭在Z軸方向定位 | 控制器：3軸步進馬達驅動晶圓承載平臺，定位精度±0.05mm | |
| 接觸角測量范圍 | 1°-180° | 1°-180° | 1°-180° | 1°-180° |
| 測量分辨率 | 0.05° | 0.05° | 0.05° | 0.05° |
| 測量重復性 | ±0.1° | ±0.1° | ±0.1° | ±0.1° |
| 測量精度 | ±0.5° | ±0.5° | ±0.5° | ±0.5° |
| 液滴體積再現性 | 0.1μL（根據實時視頻圖像得出） | 0.1μL（根據實時視頻圖像得出） | 0.1μL | 0.1μL |
| 應用 | 在特殊表面處理技術中，通過工藝特性、工藝參數的調整和生產控制使表面潤濕能力改變前后，客觀準確地測量表面自由能。 SURFTENS universal是一套堅固耐用、實用性強的接觸角測量儀器，特別適應工業領域和科學研究的需求。而且該儀器操作簡單，經過短期的培訓，任何人都能輕松使用。 | SURFTENS HL是專為半導體工業及科學研究而開發的接觸角測量儀器，特別適用于晶圓鍍膜和光刻過程檢控。針對半導體行業設計，客觀地測量晶圓表面處理前后的自由能，檢查硅晶圓的潤濕能力，在生產過程中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術，由于系統的穩定性高，特別適合作為標準儀器，用于技術控制。 | 針對半導體工業設計，特別是用于控制晶圓的涂層和光刻工藝。檢查硅晶圓表面潤濕能力，客觀檢測晶圓表面處理后的表面自由能，生產中控制技術參數、保證生產質量或開發新的鍍膜技術。適用于無塵室要求。 | 應用于半導體工業的，專業全自動表面張力檢測分析；實現自動裝載與測量結合（FOUP→裝載→滴液→測量→移液→FOUP），可應用于無塵室中，潔凈等級：100。 |
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