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高精度MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))測量儀

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v廠家簡介

德國OEG公司成立于1991年,專業(yè)設(shè)計制造光學(xué)測量和半導(dǎo)體測量儀器,產(chǎn)品屬于高精密儀器,設(shè)計緊湊操作簡單,。深受廣大科研用戶的認(rèn)可。

產(chǎn)品包括:

? 金剛石切片機

? 晶圓平整度測量、曲率、應(yīng)力測量

? 光學(xué)測量平臺

? 電子準(zhǔn)直鏡

? 線寬、特征尺寸測量儀

? 接觸角、表面張力、表面自由能測量儀

? MTF測量儀

v高精度MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))測量儀

1991年德國OEG公司成立以來,我們一直致力于MTF檢測領(lǐng)域。

經(jīng)過近30年的努力,我們擁有豐富長足的經(jīng)驗,為光學(xué)制造業(yè)提供穩(wěn)定的、高質(zhì)的計算機控制的全自動測量系統(tǒng)。我們可以根據(jù)客戶檢測樣品的不同,提供不同的配置方案。

OEGMTF測量臺因其精準(zhǔn)全面的測量功能,靈活可調(diào)的結(jié)構(gòu)方案,受到許多德國當(dāng)?shù)睾蛧H大型光學(xué)制造商的青睞。除了質(zhì)量控制,它在教育、研究、實驗室等其他部門也有著同樣出色的表現(xiàn)。

v高精度MTF(調(diào)制傳遞函數(shù))測量儀

OEG 公司生產(chǎn)的 MTF測量臺為客觀評估圖像質(zhì)量,提供了軸上及離軸,任意方位角視場,任意物/象共軛的全自動調(diào)制傳遞函數(shù)測量。

其適用范圍幾乎涵蓋所有標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)鏡頭,包括至 250mm 的通光孔徑,或從可見光到近紅外的光譜范圍。

v測量原理

系統(tǒng)提供被測透鏡的測試圖圖像。蓋圖像是由圖像分析儀投射到CCD相機上。MTF評估軟件根據(jù)測到的灰度分布計算MTF等參數(shù)。有意義的MTF測量既需要光軸上的測量,又需要圖像場上的測量。一個強大的自動測量程序控制軟件和MTF計算算法同等重要。

此外,MTF試驗臺的光學(xué)元件和機械元件必須滿足高質(zhì)量要求。OEG公司承諾MTF測試臺符合高精度MTF測量的要求!

v技術(shù)背景

調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)作為的,評價光學(xué)圖像質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn),其描述了圖像分辨率在軸上和在像場上的特征情況。
調(diào)制傳遞函數(shù)統(tǒng)一描繪了鏡頭反差與分辨率的關(guān)系。它也可被解釋為,以像對比度和物對比度的比值為函數(shù),與余弦光柵的空間頻率的關(guān)系??臻g頻率是指,每毫米內(nèi)能分辨出的線對數(shù)(lp/mm)。

v選擇MTF的理由

即便是再的設(shè)計軟件和制造工藝,也無法避免鏡片或鏡頭因制造誤差而產(chǎn)生的,對成像質(zhì)量的影響。隨著對成像性能需求的日益增長,通過調(diào)制傳遞函數(shù) MTF 來描繪鏡頭特性也越來越多地被采用。在光學(xué)工業(yè),使用該參數(shù)來客觀評價光學(xué)系統(tǒng),已然成為一種的標(biāo)準(zhǔn)。

MTF測量系統(tǒng)允許在實際應(yīng)用時進行實時測量。在測量中,可以復(fù)制或模擬場角位置、光譜范圍、物像之間的距離。

MTF測量系統(tǒng)有很大的通用性。除了能夠檢測 MTF 外,OEG 公司的 MTF 測量儀器還能檢測像焦距、色差、畸變、像散、場曲、景深等許多其他光學(xué)參數(shù)。MTF測量結(jié)果可以與光學(xué)計算進行比較。

實際的 MTF 測量,就是對測試卡經(jīng)過鏡頭所成像進行的評估。測試卡可是一條邊或者一個狹縫(十字線)。測試卡圖像信號可以通過一個圖像處理系統(tǒng),進行數(shù)學(xué)計算并且評估。對線擴散函數(shù)進行傅里葉變化可以導(dǎo)出光學(xué)傳遞函數(shù)(OTF),而調(diào)制傳遞函數(shù)則是它的幅度(實數(shù)部分)。

OEG-MTF 測量儀的優(yōu)勢:適用于?無限遠(yuǎn)-有限遠(yuǎn)?光路的 MTF Variant、水平結(jié)構(gòu)。

vMTF的實時測量

OEG 公司的MTF的測量系統(tǒng)使用CCD相機作為傳感器。圖像軟件可實時顯示測量圖像以及線擴散函數(shù)、灰度分布等參數(shù)和MTF

CCD相機優(yōu)勢是可以實時同時測量MTF矢向和切向。

vOEG-MTF測量系統(tǒng)的優(yōu)勢

l實時MTF測量

OEG公司的MTF系統(tǒng)全部采用CCD相機采集,來代替?zhèn)鹘y(tǒng)MTF測量中利用機械運動掃描線或邊圖像的過程。配合OEG公司自主開發(fā)的圖像分析軟件,能夠在計算機屏幕上實時顯示MTF數(shù)據(jù)并評估。不僅如此,CCD相機還能實現(xiàn)子午(Meridional)和孤矢(Sagittal)兩個方向上數(shù)據(jù)的同時采集。

l互動與自動模式

MTF測量可以通過交互模式或自動模式進行。自動模式通常適用于同一類型或系列產(chǎn)品的檢測,而交互模式則是用于特殊樣品的評估。在交互模式下,用戶可以利用操縱桿,對MTF測量儀器的全部六個軸進行手動控制,自定義測量區(qū)域。MTF曲線圖會根據(jù)實時圖像,直接顯示在圖表中。測量數(shù)據(jù)可以和圖表一起保存在報告文件里。在自動模式下,用戶需事先編輯一個測量模板,其包含了所有例如檢測參數(shù)類型、方位角、鏡頭類型等等各種相關(guān)的設(shè)置。載入準(zhǔn)備好的模板后,點擊開始,所有測量就會自動進行,無需額外操作。

l全面的功能

OEG公司的MTF測量儀器,能夠在計算機屏幕上實時顯示MTF、ESF(邊擴散函數(shù))LSF(線擴散函數(shù))等信息,并支持在不同波長間的簡便切換,也可以在軸上和像場測量間進行切換。MTF精度達(dá)到±0.02,可重復(fù)性為±0.01。同時,我們的儀器還提供鏡頭其他參數(shù)如焦距、色差、畸變、景深、場曲等等的測量。為全面評估鏡頭的真實品質(zhì),提供了客觀的參考依據(jù)。

l針對性的解決方案

我們生產(chǎn)每一臺MTF測量儀器,都會事先同客戶進行磋商,為不同客戶的特殊測量任務(wù)需求進行調(diào)整。包括焦距范圍、光圈值、光源波長、物面與像面的位置等等。

比如?有限遠(yuǎn)-有限遠(yuǎn)?光路與?無限遠(yuǎn)-有限遠(yuǎn)?光路,他們擁有不同的光學(xué)結(jié)構(gòu)。再比如,用于長焦距大光圈的鏡頭的MTF測量儀器,相較于短焦距的鏡頭,又有著不同的測量準(zhǔn)直儀焦距。再或者,一些客戶也許并不需要色差、畸變這類額外的檢測功能,等等。

OEG 作為具有多年業(yè)內(nèi)經(jīng)驗的企業(yè),會根據(jù)每位客戶的實際需求,提供針對性的儀器方案以及的技術(shù)支持。

另可提供圖像分析軟件MTF-Explorer選擇,用于檢測調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)、線擴展函數(shù)(LSF)、邊擴展函數(shù)(ESF),評估分析圖像。MTF Explorer是兼容性很強的評估軟件。它可加裝有現(xiàn)有的,或老式的MTF測量儀器中,也可在不以MTF為主要目的,只作為某一參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)的特殊測量儀器中使用。當(dāng)然,它同樣適合學(xué)校實驗,與簡單的測試設(shè)備結(jié)構(gòu)搭配使用。

v 技術(shù)參數(shù)

1EFL范圍:10~300mm

2、通光孔徑:150 mm

3、波長范圍:380~780nm

4、視場角sinw):±80°

5、MTF測量精度:±0.2%

6、測量重復(fù)性:±0.01

7、空間頻率:500 lp/mm

8、EFL測量精度:±0.5%

v 針對特殊需求的特殊解決方案

經(jīng)驗表明,MTF測試臺通常需要定制,因此,供應(yīng)商和客戶要密切合作,以調(diào)節(jié)實際需求。技術(shù)參數(shù)必須與測量樣品相適應(yīng),比如自由孔徑、測試樣品波長、物像共軛、圖像大小、目標(biāo)場角度、和EFL等。


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