產品特點

 可搭載OHT實現無人化操作，節省空間，真空下低溫烘烤縮短工藝時間，產品保護產品性能提升。

氧氣含量

50PPM

工藝溫度

室溫+30-300℃

產品規格

8/12inch 晶圓

存放數量

50PCS/管

加熱器

熱電阻加熱

上料口

2個

機械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 200℃，溫度：300℃

升溫速率

1~5℃/min

降溫速率

3℃/min

加熱功率

22KW

加熱溫區

3個

爐溫均勻性

±3℃

控溫熱偶

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐腔材料

SUS316L

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調節進氣

氣氛

N2

真空度

≤10pa

潔凈度

Class 100

翹曲度

12寸翹曲度≤2mm；

8寸翹曲度≤1mm